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991.
基于MVA的半导体生产过程质量分析方法 总被引:1,自引:0,他引:1
针对半导体晶圆生产中存在着位置间变异、晶圆间变异及批次间变异,提出了基于多变异分析(MVA)的工序质量分析方法.该方法通过建立基于方差分析晶圆生产工序质量的多变异分析模型,研究了晶圆生产过程中3种变异与总变异之间的定量关系.由定量关系推导出晶圆生产中的抽样规则,并提出了3种常用过程能力指数Cp,Cpk和Cpm的改进计算方法.通过在晶圆生产中的实际应用,证明了该方法中的抽样规则能捕获加工过程中主要随机变异,该方法计算获得的过程能力指数可较为真实地反映生产过程质量状况. 相似文献
992.
提出了一种新的结构来表征钛酸锶钡薄膜在微波频率下的介电特性,即在沉积有钛酸锶钡薄膜的氧化镁基片上制作了共面带阻滤波器.借助于共面带阻滤波器的谐振频率和Q值,通过比较其测量值与仿真值,可以得出钛酸锶钡薄膜的介电常数和介电损耗.在变温测试过程中,注意到金导电层的电导率对带阻滤波器的谐振频率和Q值有较大的影响.为了准确地得到钛酸锶钡薄膜的介电特性,仔细分析了金导电层对带阻滤波器频率响应曲线的影响,并在比较求值过程中消除了这一影响. 相似文献
993.
994.
995.
知识经济时代,企业商标权的保护对企业提高自主创新力,提高核心竞争力日益重要。企业应该清楚地认识并运用法律武器,结合自己特点,灵活运用商标权保护策略,最大限度地维护、扩大自己的合法权利。企业商标权保护以及知识产权管理、运用水平的程度对企业技术创新能力的提高和参与市场竞争成败的重要作用将日益显现出来。 相似文献
996.
通过增加车辆预留能力系数,保证在避免货物重新排列的情况下完成取送货.充分考虑物流运输行业的现状,重点研究相关参数模糊且各取货节点动态随机出现的问题.在求解方法上,首先为车辆路线中每一个节点、车辆以及相邻节点间的路径建立标签,并建立初始路径;其次,通过标签插入方法求解模糊动态问题;最后给出了方案应用失败后的处理方法.仿真实例验证了所提方法的有效性. 相似文献
997.
以C鳞片,SiC,B4C和TiO2为原料,在2000℃热压合成C-SiC-B4C-TiB2复合材料.研究复合材料在600~1400℃静态空气中的恒温氧化行为,利用TG/DTA研究复合材料氧化机理,利用XRD,SEM研究复合材料恒温氧化后表面相组成和氧化层剖面的显微结构.结果表明不同C鳞片含量的复合材料的氧化动力学曲线均为抛物线,氧化层可分成氧化膜和过渡层,C鳞片质量分数为20%的复合材料在1400℃时有很好的抗氧化自还原能力,表面生成致密的氧化膜,氧化膜的成分为未形成玻璃态的TiO2或SiO2.TiO2固溶体,组织形貌为枝条状. 相似文献
998.
通过3,3′-((乙烷-1,2-二基双(2-甲基吡啶杂氮二基)双(亚甲基))双(2-羟基-5-甲基苯甲醛)与2-羟基-1,3-丙二胺的缩合反应得到一种具有双吡啶悬臂的双核锰配合物。通过X射线单晶衍射确定了该配合物结构,结果显示其分子式为[Mn2(C37H43N6O6)]·(ClO4)2。该配合物属于单斜晶系,P21/c空间群,晶胞参数为:a=1.096 50(19) nm, b=1.419 5(3) nm, c=3.109 4(5) nm, β=108.153(5)°。进一步分析表明两个二价锰离子分别与(Namine)2(Nimine)2O3和(Nimine)2O4体系配位,它们与配位原子形成的几何构型分别是十面体和扭曲的八面体。两个中心锰离子距离为0.331 6 nm,由酚氧原子和醋酸根共同桥联。另外,本文也利用伏安法和黏度法对该配合物与小牛胸腺DNA的结合能力进行研究,实验结果表明它们之间的结合方式为弱的插入作用。 相似文献
999.
牛学军 《中国人民公安大学学报(自然科学版)》2006,12(4):104-106
随着交通事故处理体系的变化,交通事故现场勘查工作的重要性、难度、复杂程度都得到大幅度提升,这对从事现场勘查工作的交通民警提出了更高的要求。原有的交通事故现场勘查课程骞验已经不能适应今天的实战需要,文章从分析原有实验教学中存在的问题入手,提出建立新的实验体系的观点以及新的实验体系应包含的内容。 相似文献
1000.
总监理工程师作为项目监理机构的领导者,决策与管理渗透于监理活动的各个方面,成为项目监理机构乃至监理单位经营管理的核心。文章对总监理工程师的定位、应具备的能力、决策过程和管理艺术进行了系统论述。 相似文献