提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法

在曝光线宽为90nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明,平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某区域透射率存在矛盾,制约了照明光束均匀性的提高。为此,提出了非平行反射扩束镜组,推导了出射光束尺寸、叠加子光束个数与两反射镜楔角之间的关系式,确定了楔角的取值范围和扩束单元的结构形式。通过建模分析,验证了设计的扩束单元在实现光束一维扩束的同时,不仅减小了叠加光束的干涉散斑效应,还提高了光束均匀性。     

Experimental study on thermal uniformity of optical transmitter and receiver on near space

According to the special airframe construction of the prototype and the particular environment of the near space, the thermodynamics modeling simulation is designed to instruct the temperature-rise tests on the ground and guarantee the steady operation of the optics, electronics and mechanical structure system in optical transmitter and receiver, which demonstrated the goodness of fit for theoretical and experimental analysis. In the meantime, the temperature-rise tests for the critical components and physical model are controlled by BP algorithm which saved experimental periods and improved the conventional efficient. In the end, the internal temperature field distribution in the optical transmitter and receiver is analyzed in this paper, and how to keep the uniformity of the thermal field in a short time is studied as well. And the analytic results show that the experiments satisfy the required indices, what’s more, the analytic process may supervise the analytical calculation of the same type optical transmitter and receiver, which is worth using in engineering.     

肌肉类粘弹性超软材料SHPB实验的应力应变均匀性分析

试样的轴向应力和应变均匀问题是霍普金森杆实验行之有效的必要条件,而这对肌肉类粘弹性超软材料尤为重要.本文用量纲分析法,分析出了影响粘弹性材料SHPB实验应力和应变均匀性的无量纲量,结合LS-DYNA数值模拟方法,考察了各无量纲量对粘弹性材料均匀性的影响规律.结果表明,为使肌肉类材料SHPB实验更早达到均匀条件,理想的入...     

重尾情形下NA随机变量的随机加权和

In 2003, Tang Qihe et al. obtained a simple asymptotic formula for independent identically distributed （i.i.d.） random variables with heavy tails. In this paper, under certain moment conditions, we establish a formula as the same as Tang’s, when random variables are negatively associated （NA）.     

0.5μm CMOS后段平坦化工艺优化

通过实验对采用SOG材料的0.5μm CMOS后段平坦化工艺进行优化。采用3因素2水平的实验设计,表明IMD1-1厚度、SOG(旋涂玻璃)厚度和etchback(反腐蚀)厚度是关键因素。将β定义为平坦化程度因子,在完全平坦化的情况下β=1;如果没有平坦化效果,则β=0。进行了两次实验发现如何提高平坦化因子。实验得到IMD1-1显著影响金属间的介质间距,它和SOG厚度强烈影响平坦化因子。最后采用DOE(实验设计)的方法优化了0.5μm CMOS的平坦化工艺,平坦化因子从70%提高到85%,平坦化均匀性同时得到改善。     

安装工艺水平对小间距显示屏的影响

随着市场对小间距显示屏的需求发展，对小间距显示屏的性能要求越来越高。本文从安装工艺的角度阐述了多种对显示屏品质有影响的安装方式及解决方法。     

重极限存在的充要条件之注记

对多元函数的重极限进行深入探讨,得到变量趋于一点时重极限存在的充要条件,并把结论推广到变量趋于无穷的情况.     

图案化基板对集成封装LED的光色品质的影响

为了分析图案化结构对LED封装出光效率和空间颜色分布的影响,采用蒙特卡洛光线追迹的方法进行仿真分析。模拟结果表明:图案化基板不但能提高LED的出光效率,而且能改变光源的空间颜色分布。对于平面基板和带反光杯阵列基板加图案化结构,在本文的参数下,倒圆锥倾斜角α=25°时,出光效率分别比传统平面封装提高66.2%、73.6%。无图案平面基板和带反光杯阵列平面基板结构的颜色均匀度分别为0.697和0.777;当α=30°时,颜色均匀度分别为0.799和0.814。     

正交偏振板对聚焦光斑偏振特性的影响

在间接驱动的惯性约束聚变(ICF)驱动器中,为控制靶腔入口及其附近光场的偏振特性及辐照均匀性,采用二维光谱角色散(2D-SSD)、随机相位板(RPP)和正交偏振板(OPCP)联用的束匀滑方案,数值模拟和理论分析了OPCP对焦面及离焦面处光场偏振特性以及强度均匀性的影响,并讨论了正交偏振板单元数的选取问题。结果表明,不同单元数正交偏振板对焦面及其附近光场偏振特性和强度均匀性的影响程度不同,且光场偏振特性对离焦并不敏感。此外,离焦会使强度均匀性变差,适当增加正交偏振板单元数可以在一定程度上减弱这种影响。     

厚壁空心微球的球形度和壁厚均匀性的表征研究

为建立高效简洁的厚壁空心微球球形度和壁厚均匀性的表征和测量方法,以内径850μm、壁厚25μm的厚壁聚苯乙烯(PS)微球为测量对象,分析球形度和壁厚均匀性的表征方法,探讨测量过程中采样方式对表征微球球形度和壁厚均匀性的影响。研究表明:对于批量微球球形度和壁厚均匀性的表征,当抽样数目不小于30时,测量结果之间的差异很小;而对于单一微球的球形度和壁厚均匀性的表征,至少3个不同投影面的测量结果的平均值才趋于稳定。不同投影面导致球形度或壁厚均匀性较差的批次样品的测量结果有一定差异,多次投影测量可提高测量结果的可靠性。