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集成电路制造技术的不断进步,给缺陷定位带来巨大的挑战。传统的测试芯片和现有的可寻址的方法都无法满足当前缺陷快速准确定位的要求。本文提出了一种改进的可寻址测试芯片的设计方法:每个测试结构采用四端法连接以及单一的NMOS晶体管作为开关电路,以保证电性测量结果精确、电路设计的简洁以及面积利用率的进一步优化;并利用开关电路增加少量测试引脚,以方便物理缺陷定位的进行。该方法在110nm的CMOS工艺中得到应用。经过实际生产验证,实现了金属层断路等缺陷的定位,有效发现了该工艺中失效缺陷的成因,从而帮助实际的成品率实现快速提升。 相似文献
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Fabrication and characterization of rod-like nano-hydroxyapatite on MAO coating supported on Mg-Zn-Ca alloy 总被引:1,自引:0,他引:1
J.H. GaoS.K. Guan J. Chen L.G. WangS.J. Zhu J.H. HuZ.W. Ren 《Applied Surface Science》2011,257(6):2231-2237
The poor corrosion resistance of magnesium alloys is a dominant problem that limits their clinical application. In order to solve this challenge, micro-arc oxidation (MAO) was used to fabricate a porous coating on magnesium alloys and then electrochemical deposition (ED) was done to fabricate rod-like nano-hydroxyapatite (RNHA) on MAO coating. The cross-section morphology of the composite coatings and its corresponding energy dispersion spectroscopy (EDS) surficial scanning map of calcium revealed that HA rods were successfully deposited into the pores. The three dimensional morphology and scanning electron microscopy (SEM) image of the composite coatings showed that the distribution of the HA rods was dense and uniform. Atomic force microscope (AFM) observation of the composite coatings showed that the diameters of HA rods varied from 95 nm to 116 nm and the root mean square roughness (RMS) of the composite coatings was about 42 nm, which were favorable for cellular survival. The bonding strength between the HA film and MAO coating increased to 12.3 MPa, almost two times higher than that of the direct electrochemical deposition coating (6.3 MPa). Compared with that of the substrate, the corrosion potential of Mg-Zn-Ca alloy with composite coatings increased by 161 mV and its corrosion current density decreased from 3.36 × 10−4 A/cm2 to 2.40 × 10−7 A/cm2 which was due to the enhancement of bonding strength and the deposition of RNHA in the MAO pores. Immersion tests were carried out at 36.5 ± 0.5 °C in simulated body fluid (SBF). It was found that RNHA can induce the rapid precipitation of calcium orthophosphates in comparison with conventional HA coatings. Thus magnesium alloy coated with the composite coatings is a promising candidate as biodegradable bone implants. 相似文献
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碲镉汞红外探测器的表面钝化处理对器件暗电流有较大影响,决定了器件的探测性能。为了研究表面钝化层不同生长方式对暗电流的抑制效果,使用分子束外延(Molecular Beam Epitaxy, MBE)系统在Si基衬底上生长碲镉汞材料,分别通过磁控溅射和原位钝化方法生长CdTe/ZnS钝化膜层。采用半导体工艺在碲镉汞材料上制备了变面积光伏探测器。通过测试不同钝化膜层器件的暗电流,分析零偏电阻和面积乘积(R0A)与周长面积之比(p/A)的关系。结果表明,磁控溅射生长钝化层的Si基碲镉汞器件存在较大的隧穿电流,而原位钝化生长钝化层的Si基碲镉汞器件能更有效地抑制表面漏电流。拟合器件R0A因子随PN结面积的变化,得出原位生长钝化层的器件具有更好的钝化效果。变面积器件的制备和测试能够有效且直观地反映器件性能。 相似文献
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JHT-LD-380型高精度电容器全自动测试分选机是铝电解电容器生产专用设备。该机选用了ST-280型电解电容器测试电桥,该电桥集极性、漏电流、电容量、损耗各参数的测试及通过I/O接口对外部电路进行控制于一体,性能优异。电桥与外围电路配合良好。在测试电桥、充电片、测试头等关键点的设计上独具匠心。该机具有自动分选、操作简便、测试准确、速度快等优点,在测试精度、速度、分选准确度等方面均达到国外同类机的水平。1998年评为国家级新产品。 相似文献
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通过对国内外研究工作的分析,提出了面向语义的解释型测试程序集描述方法。该方法采用具有完备性、独立性和灵活性的语义集合对具体的测试需求进行抽象,构建通用性较强的测试程序集,并为可扩展性提供了相应的接口。 相似文献