宽调谐双折射滤光片最佳透射系统研究

针对普通滤光片通常采用不多于3片组合方式,不能满足特殊测量范围要求的情况,利用单轴晶体的双折射效应及偏光干涉原理来研究双折射滤光片的滤光原理及其参数特性,在综合考虑各种参数的前提下,应用近似理论条件,研究设计了4片组合的石英晶体双折射滤光片,分析了设计滤光片所需要的各个参数,给出了4片组合双折射滤光片的透射曲线。此双折射滤光片的透射光谱具有透射带宽得到很大压窄、次峰的透过率被抑制在8%以下等特点。当它被用在脉冲激光器中时,具有550nm至1200nm的宽调谐范围。可以知道,设计滤光片的关键是各个参数的选取,利用法布里-珀罗干涉仪可以压窄光谱线宽。     

表面等离子体共振(SPR)薄膜传感器的研究

利用自制的棱镜型表面等离子共振（SPR）传感器,在固定入射光波长632＋8nm激光入射下,被测样品为空气,研究了金属薄膜分别为Al膜、Ag膜及Au膜时的反射光功率与入射角之间的关系,讨论了Al薄膜厚度对表面等离子共振灵敏度的影响。     

阵列互耦对极化敏感阵列滤波性能的影响

在阵列互耦条件下,给出了极化敏感阵列接收信号模型;并在形式上把互耦误差分解为正交阵元接收因子误差和阵列接收因子误差,分别代表了阵列接收信号极化信息误差和空间信息误差.给出互耦条件下,信号、干扰空间匹配系数、极化匹配系数和最大SINR的数学表达式.在单干扰源情况下,分析了阵列互耦对极化敏感阵列滤波性能的影响.     

基于视差角和天顶角优化的偏振多视角三维重建

多视角三维重建依赖目标表面的纹理特征,在处理低纹理区域时易出现数据空洞现象,融合目标物反射光的偏振信息可以在不同光照环境下对其进行完整重建,通过偏振参数计算物体表面法向量,进而重建目标物深度图.但单独使用偏振信息重建三维表面存在方位角歧义和天顶角偏差等问题,导致重建结果出现变形甚至得不到深度结果.针对存在低纹理区域的物...     

近场源DOA、距离和极化参数联合估计新算法

研究近场源波达方向(DOA)、距离和极化参数联合估计问题.利用特殊的线性极化阵列,提出一种基于三阶循环矩的新方法.该方法利用信号的循环平稳特性以及空、时域信息,通过时空矩阵的构造和特征分解获得各参数的闭式解.估计过程中无需谱峰搜索,并且能够抑制任意分布的加性平稳噪声以及具有不同循环频率的干扰信号.计算机仿真实验验证了该方法的有效性.     

Resolving Deep Sub-Wavelength Scattering of Nanoscale Sidewalls Using Parametric Microscopy

The quantitative optical measurement of deep sub-wavelength features with sub-nanometer sensitivity addresses the measurement challenge in the semiconductor fabrication process. Optical scatterings from the sidewalls of patterned devices reveal abundant structural and material information. We demonstrated a parametric indirect microscopic imaging (PIMI) technique that enables recovery of the profile of wavelength-scale objects with deep sub-wavelength resolution, based on measuring and filtering the variations of far-field scattering intensities when the illumination was modulated. The finite-difference time-domain (FDTD) numerical simulation was performed, and the experimental results were compared with atomic force microscopic (AFM) images to verify the resolution improvement achieved with PIMI. This work may provide a new approach to exploring the detailed structure and material properties of sidewalls and edges in semiconductor-patterned devices with enhanced contrast and resolution, compared with using the conventional optical microscopy, while retaining its advantage of a wide field of view and relatively low cost.     

基于斜向背散射偏振拉曼光谱的{100}c-Si面内应力分析

复杂应力状态下应力分量的解耦分析对半导体的设计和制造具有重要意义。本文开展了方法学研究,首先建立了{100}晶面族单晶硅面内应力分量解耦分析模型,基于该模型,通过改变入射光和散射光的几何构型和偏振构型,可得到单晶硅拉曼频移与应力分量的解析关系。在此基础上,提出了一种利用斜向背散射偏振拉曼光谱在不同倾角、偏振方向和样品旋转角度下开展原位拉曼探测实现应力分量解耦分析的实用技术。本文通过实验验证了该方法的可靠性和适用性。     

高效腔内色散调Q Nd:YAG紫外激光器

采用避免激光器不稳定的色散调Q YAG激光谐振腔设计,用Ⅰ类非临界相位匹配LBO晶体,在腔内产生二次谐波,产生的532nm与腔内1064nm在腔内经过Ⅱ类临界相位匹配LBO晶体产生355nm的紫外激光。为了提高谐波转化效率,分别在腔内插入了λ／4波片、偏振片,得到在泵浦捕运光功率约为120W时输出2．5W的355nm紫外激光,功率稳定性RMS在3h内小于0．8％。     

圆偏振飞秒激光脉冲与低压氙气体靶相互作用软X射线辐射实验研究

利用平场光栅谱仪,分别在2和3 kPa的低气压下,测量了脉宽35 fs的圆偏振超强超短激光脉冲与5 mm长氙气体靶相互作用产生的波长在5～60 nm范围内的离子谱线。2 kPa时最强的跃迁为XeⅧ：4d105s(2S_1/2)—4d95s5p(2P_3/2)的17.085 6 nm线,3 kPa时最强的跃迁为11.343 nm的XeⅦ 4d105s2(1S0)—4d95s25f(3P₁)跃迁。两种气压下,Xe均被电离到XeⅦ,XeⅧ,XeⅨ态。     

光通信系统中圆偏振光的应用研究

通过对水下光通信系统中影响通信质量的各个因素的分析,找到提高通信质量的方法.利用圆偏振光的特性,从理论上分析如何使水下数字光通信系统的误码率得到降低,并且在试验中验证了利用圆偏振光的特性提高通信质量的结果.