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利用0.5μm GaAs PHEMT技术研究了适用于单片集成GaAs PIN/PHEMT光接收机前端的关键工艺,解决了台面工艺和PHEMT平面工艺的兼容性问题,包括不同浓度磷酸系腐蚀液对台面腐蚀均匀性的影响、台面与平面共有金属化工艺对光刻技术的要求。结果表明,工艺技术完全满足单片设计要求,研制得到的单片集成光接收机前端在输入1Gb/s和2.5Gb/s非归零(NRZ)伪随机二进制序列(PRBS)调制的光信号下得到较为清晰的输出眼图。 相似文献
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光频标和光频测量研究的历史、现状和未来 总被引:4,自引:0,他引:4
本文综合评述了光频标和光频测量研究的历史、现状和未来。在上世纪最后的30年间,光频标已达到10^-11-10^-13量级的准确度,使长度单位“米”进行了重新定义,实际上成为时间单位秒的“导出单位”。最近三年来,该领域的研究出现了重大突破。这是由于飞秒锁模激光技术与光频测量技术两者出人意外的结合,使微波频标与光频标之间建立了简易可行的联系,使光频标的准确度和实用性达到了前所未有的高度,成为计量学和物理学中一个新的亮点。它的进一步发展必将给计量学和物理学带来深远的影响。 相似文献
1000.
A transmission-type surface plasmon resonance (SPR) sensor is presented. In the transmission-type SPR structure, surface plasmon waves are outcoupled to radia-tion modes by the use of dielectric grating on a thin-film layer of Ag. Compared with the traditional reflection-type SPR sensor, the new method provides larger detectable range, which might be useful to investigate thick targets such as in cell analysis. Theoretical simulations show that the structures provide high transmission efficiency for surface plasmon resonance and the devices present extre-mely linear sensing characteristics. Furthermore, it is found that the transmission efficiency and the refractive index detection sensitivity of the SPR sensor can be improved by the use of a lower refractive index glass prism. 相似文献