集成电路生产中废气的污染及治理

介绍集成电路生产中产生各种废气的种类,废气中有害物质浓度及其危害性,并依据工程实践,评述了各类有害废气的各种处理方法。     

一种速度优化的流水线模数转换电容误差平均技术

无源电容误差平均技术是一种本质线性(Inherently Linear)的流水线模数转换电容失配校准技术,但其转换速度是传统技术的一半.为了提高速度,本文提出了一种改进的电容误差平均技术.该技术从减少一个转换周期所需的时钟相数目和减少每个时钟相的时间两个方面来优化速度.电路分析和MATLAB仿真表明,在两种典型的情况下,改进的技术能将速度提高52%(跨导放大器为开关电容共模反馈)和64%(跨导放大器为非开关电容共模反馈)以上.改进的技术更适用于高速高精度及连续工作的应用场合.     

HIRFL–CSR加速器中束流与真空中剩余气体的碰撞损失

研究了重离子加速器中束流与真空中剩余气体的碰撞损失过程和碰撞截面,在依据大量实验数据的基础上,提出了一组计算离子一原子的电荷交换截面的经验公式.以兰州重离子加速器HDRFL及冷却储存环CSR为例,给出了依据碰撞截面的公式计算束流在加速器真空中的传输效率的方法,并计算了在不同真空度下HIRFL的ECR源轴向注入束运线、注入器SFC、前束运线、主加速器SSC和后束运线等不同加速阶段及CSR的传输效率,并提出合理的真空度要求.HIRFL的真空分布测量和束流的损失测量证明了该计算方法的可靠性.     

355nm Nd∶YAG激光在H_2中的高效一级斯托克斯转换

对脉冲Nd∶YAG激光(355 nm)在H2和H2∶He-Ar混合气体中的受激拉曼散射(SRS)进行了研究。在0.5 MPa的氢气中,同时测量到从二级反斯托克斯到三级斯托克斯的多波长输出,其总转化效率达88%;而高压下只剩下一级和二级斯托克斯输出,其中二级斯托克斯最大能量转化效率达44%(对应量子效率为63%)。由于高级斯托克斯的竞争,纯氢气中一级斯托克斯的最大能量转换效率不超过43%。通过向3 MPa氢气中掺入2 MPaAr气后,很好地抑制了二级斯托克斯的产生,从而获得了能量转换效率高达71%(对应量子效率为83%)的一级斯托克斯输出。对四波混频和级联受激拉曼散射在氢气多级斯托克斯产生中的作用以及惰性气体对它们的影响进行了讨论。     

半导体芯片厂有害气体检测器使用经验之探讨

本文除概略介绍气体检测器的种类处，主要对气体检测器的原理和在实际使用中的局限性作一基本归纳叙述。限于篇幅，本文将论述的重点放在气体检测器的选用与设置规划上，提出个人的一点心得与看法，以作为未来设置气体检测器系统时之参考。     

理想气体在热力学中的作用

指出热力学理论是普遍的,不依赖于理想气体.理想气体为热力学理论提供了一个简单的实例,为测量热力学温度提供了一种简单的温度计.     

The operational performance of the Yale ESTU

The ESTU began operation in 1988 and achieved the design voltage of 20 MV in 1990. Since that time, improvements to the gas handling system, negative ion injector, accelerator terminal and control system have greatly increased its capability and reliability. Today, the ESTU can efficiently produce an extensive assortment of stable ions at wide-ranging energies in support of low-energy nuclear physics.     

Around Multicolour Disordered Lattice Gas

We consider a system of multicolour disordered lattice gas, following closely the (monocolour) introduced by Faggionato and Martinelli^(3,4). We study the projection on the monocolour system and we derive an estimate of the closeness between grand canonical and canonical Gibbs measures. AMS Classification: Primary: 60K35, 82C20, 82C22     

Efficient computation of natural convection in a concentric annulus between an outer square cylinder and an inner circular cylinder

In this work, the natural convection in a concentric annulus between a cold outer square cylinder and a heated inner circular cylinder is simulated using the differential quadrature (DQ) method. The vorticity‐stream function formulation is used as the governing equation, and the coordinate transformation technique is introduced in the DQ computation. It is shown in this paper that the outer square boundary can be approximated by a super elliptic function. As a result, the coordinate transformation from the physical domain to the computational domain is set up by an analytical expression, and all the geometrical parameters can be computed exactly. Numerical results for Rayleigh numbers range from 104 to 106 and aspect ratios between 1.67 and 5.0 are presented, which are in a good agreement with available data in the literature. It is found that both the aspect ratio and the Rayleigh number are critical to the patterns of flow and thermal fields. The present study suggests that a critical aspect ratio may exist at high Rayleigh number to distinguish the flow and thermal patterns. Copyright © 2002 John Wiley & Sons, Ltd.     

提高微晶硅薄膜太阳电池效率的研究

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了系列微晶硅薄膜太阳电池，指出了气体总流量和背反射电极的类型对电池性能参数的影响.电池的I-V测试结果表明：随反应气体总流量的增加，对应电池的短路电流密度、开路电压和填充因子都有很大程度的提高，结果使得电池的光电转换效率得以提高.另外，ZnO/Ag/Al背反射电极能明显提高电池的短路电流密度，进而也提高了电池的光电转换效率.对气体总流量和背反射电极类型影响电池效率的原因进行了分析. 关键词： 微晶硅薄膜太阳电池 气体流量 ZnO/Ag/Al背反射电极