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针对嵌入式安装麦克风阵列因壳体遮挡部分阵元而导致的实际波达时间差(TDOA)偏离直达波理论模型问题,基于实际声探测系统最常用的对称凸多边形平面阵型构造线性几何约束并结合秩2代数约束,提出了一种校正实测TDOA矩阵的凸优化闭式解,只要阵列结构中存在至少一对等长平行线,就能获得现有TDOA校正方法所没有的壳体遮挡衍射效应抑制能力,同时还能抑制随机误差和异常值的不利影响,实现复杂度低,更适用于日益普及的小型实时全向声探测系统应用.仿真结果验证了该方法的有效性. 相似文献
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多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料。探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能。提出可以采用氧化多孔硅材料作牺牲层制备微传声器的空气隙的工艺方法,有效地解决其他牺牲层材料与振膜应力不匹配以及释放时间过长的问题,使微传声器的制备成品率得到提高。同时提出运用多孔硅牺牲层工艺制备微传声器的背极板声学孔,可以获得厚度达10μm以上的单晶硅作背极板,背极板刚性好,不会随着外加声压振动,有效地提高了微传声器的性能。 相似文献
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强度解调的F-P干涉型光纤传声器 总被引:2,自引:0,他引:2
F-P干涉型光纤传声器具有灵敏度高、结构简单、抗电磁干扰等优势,论文针对基于强度解调的F-P干涉型光纤传声器展开研究。采用多光束干涉理论建立了系统光学模型,采用薄板小挠度弯曲理论建立了传声器振膜的声学模型,在此基础上得到传声器灵敏度的表达式。通过理论分析和仿真,得到了敏感单元结构参数对传声器灵敏度和响应频率的影响关系,并对F-P敏感结构的腔长和端面反射率进行了优化设计。应用厚度为3μm的镍膜,研制出光纤传声器样机,测得其灵敏度为268 mV/Pa、频响特性为±3 dB@50 Hz~4 kHz,可应用于恶劣环境下的声音传感。 相似文献
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介绍了数字传声器的关键结构,并基于其既有焊接又有键合工艺的特点,为提高PCB连接可靠性,特别是这种IC封装用PCB与芯片连接的可靠性,引入了镍钯金PCB,实现了其高可靠性的连接;并根据键合工艺的的要求,优化选择了键合温度、键合机台压力、功率和键合时间等工艺参数,进行了一系列引线键合实验,取得了键合点的相关实验数据,并对... 相似文献