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81.
Micro-hotplates operated at elevated temperature form the basic element in several sensor devices, such as integrated calorimetric or Taguchi-type gas sensors and flow-rate sensors. In all of these applications thermal properties of the sensing elements play a determining role in functional operation, therefore, their accurate characterisation is essential. The micro-hotplates investigated were developed by one side porous silicon micro-machining technology, forming Pt micro-filaments embedded in non-stoichiometric silicon nitride, and suspended across a cavity. This work is dealing with the accurate temperature detection in the micro-scale by different measurement methods for the deduction of steady state and transient thermal properties from the results. Transient properties of the structure were investigated by application of a simplified thermal equivalent circuit model.  相似文献   
82.
The analysis of a demodulation system for Fiber Bragg Grating sensors based on two fixed spectral filters has been carried out both theoretically and experimentally. Different system configurations were analyzed by modifying the spectral position of the filters as well as the optical power-level of the signal reaching the two photo-detectors. Measurements with integration times that varied from 0.01 to 1 s have been compared with the low-frequency limit predicted for long-term operation. Comparisons between simulated and experimental results show good agreement, and extrapolations indicate that it should be possible to achieve an operating spectrum range of the order of 7 nm, with uncertainties equivalent to less than 2 pm in measurements of the sensor peak position.  相似文献   
83.
硬盘驱动器巨磁电阻(GMR)磁头:从微米到纳米   总被引:7,自引:0,他引:7  
蒋致诚 《物理》2004,33(7):529-533
近年来电脑硬盘存储密度的飞速增长(年增长100%)已超出摩尔定律的预言.这种惊人的高速增长中,最关键的因素是自旋阀纳米多层膜结构,即巨磁电阻(GMR)读传感器磁头的应用.事实上,巨磁电阻磁头读传感器(reader sensor)已经实现由微电子器件向纳米电子器件转化,并且形成大规模产业.这一过程包含了自旋电子学、材料科学、微电子工程学、化学、微机械力学和工程学等诸学科和相关微加工技术综合性挑战极限,进入纳米科技领域实质性进步.  相似文献   
84.
光纤加速度传感器研究进展   总被引:5,自引:0,他引:5  
光纤加速度传感器与传统加速度传感器相比,不但能抗电磁干扰,而且体小、质轻、动态范围宽、精度高、能在恶劣环境下工作,因此受到各先进国家军事与商业领域的极大重视,各种实用的光纤加速度传感器不断涌现。主要有光强调制型和相位调制型两大类。光强调制式有反射式、透射式和偏振式等等。相位调制式有Mach-Zender干涉仪、Michelson干涉仪和Fabry-Perot干涉仪。有一维的,也有二维的;有与水听器组合在一起的,也有与光纤陀螺仪组合的光纤加速度传感器。最小的已经做到2.5cm长,直径仅0.25mm;测量精度已能达到1μg;共振频率可达到10kHz。为了克服温度不稳定性对测量精度的影响,人们采用了3×3耦合器解调法,双光路法,由单臂式改成推挽式等。一旦关键技术得以克服,光纤加速度传感器将会在惯性导航和其它领域发挥更重要的作用。本文将分别介绍目前各种类型光纤加速度传感器的结构、特点、走向实用化存在的问题。  相似文献   
85.
光学和传感器的防护技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
赵广福 《红外技术》1997,19(5):5-8,15
近年来,光电技术发展异常迅速,在这些技术装备中,当用光学聚焦时,辐射能量对光学元件、探测器都会构成威胁。本文讨论辐射对光学和探测器的影响以及降低其影响的防护技术。  相似文献   
86.
本文分析计算了荧光光纤温度传感器的温敏元件——GsAlAs/GaAs双异质结半导体材料的荧光辐射效率与激励光波长的关系。讨论了温度测量范围及温敏元件GaAlAs层铝含量对激励光源的限制,在0~200℃测温范围内,若采用LED作激励光源,其峰值波长应在0.70~0.76μm之间选择。  相似文献   
87.
Over the last two decades, the fiber optic technology has passed through many analytical stages. Some commercially available fiber optic sensors, though in a small way, are being used for automation in mechanical and industrial environments. They are also used for instrumentation and controls. In the present work, an intensity-modulated intrinsic fiber optic sugar sensor is presented. This type of sensor, with slight modification, can be used for on-line determination of the concentration of sugar content in sugarcane juice in sugar industry. In the present set-up, a plastic fiber made of polymethylmethacrylate is used. A portion of the cladding (1 cm, 2 cm, 3 cm) at the mid-point along the length of the fiber is removed. This portion is immersed in sugar solution of known concentration and refractive index. At one end of the fiber an 850 nm source is used and at the other end a power meter is connected. By varying the concentration of sugar solution, the output power is noted. These studies are made due to the change in refractive index of the fluid. The device was found to be very sensitive which is free from EMI and shock hazards, stable and repeatable and they can be remotely interfaced with a computer to give on-line measurements and thus become useful for application in sugar industries.  相似文献   
88.
唐新鲁  张培强 《实验力学》1993,8(4):356-361
介绍了谐振式力传感器的工作原理,并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁(3×0.4×0.045mm^3)式测力传感器进行了全面的振动分析,所得结构为其进一步优化设计提供了科学根据,文中使用的实验分析方法,为其它微小物体的动态和识别提供了一条有效途径。  相似文献   
89.
本文介绍了一种钢卷尺刻度在线测量系统 ,它采用了高速摄像及计算机数据处理技术 ,文章阐述了系统的非接触动态测量原理 ,描述了光电信号的处理方法 .  相似文献   
90.
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