Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Selective epitaxial growth (SEG) of silicon has attracted considerable attention for its good electrical properties and advantages in building microstructures in high‐density devices. However, SEG problems, such as an unclear process window, selectivity loss, and nonuniformity have often made application difficult. In our study, we derived processing diagrams for SEG from thermodynamics on gas‐phase reactions so that we could predict the SEG process zone for low pressure chemical vapor deposition. In addition, with the help of both the concept of the effective supersaturation ratio and three kinds of E‐beam patterns, we evaluated and controlled selectivity loss and nonuniformity in SEG, which is affected by the loading effect. To optimize the SEG process, we propose two practical methods: One deals with cleaning the wafer, and the other involves inserting dummy active patterns into the wide insulator to prevent the silicon from nucleating.     

基于系统矩阵有序实Schur分解的模型降阶

对复杂高阶系统进行模型简化，为研究与设计系统提供了方便的条件。对系统模型的降阶是控制系统设计与仿真工作者的一个重要研究课题，对高阶复杂系统的分析、设计、仿真等具有重要的理论意义和工程实用价值。针对目前比较成熟的基于系统矩阵的有序实Schur分解方法，提出了采用时矩输出拟合来改善降阶系统输出响应逼近程度的改进方法，从而使简化模型具有输出误差更小、计算简便等优点，通过给出的实例仿真证实了这一点。     

闪光灯泵浦Nd3+:GGG激光特性研究

用闪光灯泵浦掺钕钆镓石榴石(Nd^3 ：GGG)激光晶体，研究了脉冲宽度0．5ms、1ms、1．5ms和2ms的放电泵浦下激光输出，实验获得了1．92J的最大激光能量．     

CMP系统技术与市场

概述了CMP系统技术的发展历史、发展趋势以及在IC生产中的重要性,介绍了国外CMP设备主要制造厂家的设备型号和性能及CMP设备市场分布和需求,阐述了CMP系统技术的基础研究、关键技术和国内研究概况。     

协同作战能力简析

协同作战能力(CEC)是一种充分利用网络技术的新型海岸防空技术，给系统的作战能力带来了革命性的交破。本文对协同作战能力的产生、功能、组成以及未来的发展趋势作了详细的介绍，阐述了CEC系统的总体设计思想。在此基础上，将CEC系统与传统的作战系统的性能和设计思想在各方面进行了比较，交出了CEC系统各方面的优越性能。协同作战能力是现代和未来作战系统的发展方向，CEC系统的发展必将成为衡量各国国防科技现代化的重要指标。     

Rigidity and flexibility of virtual polytopes

All 3-dimensional convex polytopes are known to be rigid. Still their Minkowski differences (virtual polytopes) can be flexible with any finite freedom degree. We derive some sufficient rigidity conditions for virtual polytopes and present some examples of flexible ones. For example, Bricard's first and second flexible octahedra can be supplied by the structure of a virtual polytope.     

基于均匀光纤光栅的DWDM系统PMD补偿方法

提出一种基于均匀光纤Bragg光栅(FBG)的透射型密集波分复用(DWDM)系统多信道偏振模色散(PMD)补偿方案。当FBG受到横向挤压时，会产生双折射现象。当一波长的光信号从光栅带隙附近透射时，就会在快轴和慢轴之间产生时延差(DGD)。通过改变外力的大小来调节DGD的大小可以实现对PMD的补偿。通过将多个补偿光栅级联，就可以实现对DWDM系统多信道PMD的补偿。在100N外力作用下，5cm长的光栅最大可以补偿121ps的PMD，而对相邻0．8nm的信道，只引入0．2ps的DGD。     

牛奶加工过程中的清洗(二)

五．牛奶厂的清洗。目前，牛奶厂采用的清洗方式主要是CIP清洗(Cleaning in place)，原地清洗或称定置清洗，即在基本不拆卸或挪动机械装置和管线的情况下对生产过程中能与牛奶发生接触的设备表面进行的清洗。其冲刷、清洗、灭菌的整个过程全部实现了自动化因此大大降低了劳动强度。而有一些不     

SDCCH信道话务量评估及最佳配置

本比较详细地阐述了SDCCH信道话务量的计算方法及在GSM网络中的配置原则，以便使网络资源达到最佳配置，发挥最大的经济效益。在论述中提出了3种方法：(1)建立SDCCH信道话务模型的方法；(2)评估SDCCH信道话务量的计算方法；(3)选择SDCCH信道最佳配置的方法。这3种方法供大家参考。     

共面波导(CPW)馈电单极子天线的设计与研究

给出一种工作于900MHz的共面波导(CPW)馈电单极子天线的设计。该单极子天线以共面波导的中心导带为辐射单极子，以中心导带两边的金属导体作反射板，结构简单紧凑。但是由于天线与共面波导之间缺少有效的隔离，造成天线性能受共面波导尺寸的影响较严重。本文通过模拟计算和实验测量详细分析了共面波导尺寸的变化对天线性能的影响，给出了结合共面波导尺寸设计的工作在900MHz的单极子天线结构数据。