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Navab SinghAuthor Vitae Moitreyee Mukherjee-RoyAuthor VitaeSohan Singh MehtaAuthor Vitae 《Microelectronics Journal》2003,34(4):237-245
The patterning of contact holes by selecting out-of-focus image plane (defocus) using attenuated phase shift masks (APSM) has been studied. Defocus is found to enhance the image modulation at low partial coherence for contact holes with negative local average of mask function. Semi-dense holes up to 130 nm in 8% APSM have been printed by 0.5 μm defocus at a partial coherence of 0.31 using KrF scanner with highest numerical aperture of 0.68. However, these holes were closed with in-focus imaging. Defocus is also found to be beneficial for patterning the pitches that have extensive side lobes with in-focus imaging. 相似文献
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新型的芯片间互连用CMOS/BiCMOS驱动器 总被引:5,自引:2,他引:3
从改善不同类型 IC芯片之间的电平匹配和驱动能力出发 ,设计了几例芯片间接口 (互连 )用 CMOS/Bi CMOS驱动电路 ,并提出了采用 0 .5 μm Bi CMOS工艺 ,制备所设计驱动器的技术要点和元器件参数。实验结果表明所设计驱动器既具有双极型电路快速、大电流驱动能力的特点 ,又具备 CMOS电路低压、低功耗的长处 ,因而它们特别适用于低电源电压、低功耗高速数字通信电路和信息处理系统。 相似文献
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基于TS101的PCI接口高速数据采集系统的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
给出了基于TS101和PCI的双通道数据采集处理系统的设计方案。首先介绍了ADI公司新型数字信号处理(DSP)微处理器TS101和FLYBY数据传输模式,阐述了系统结构和工作原理,最后对如何利用TS101的FLYBY接口提高数据采集、存取效率和数据系统的逻辑控制进行了详细的论述。 相似文献
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为了用有限的资金建设一个高标准、现代化的适合高校现代教育技术需要的数字化摄录编播系统,结合实际,详细介绍一种适合高校重大事件记录、课件制作及教学片拍摄、可以满足高校多种需求的数字化摄录编播设备的合理化配置。 相似文献
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在cdma20001x前向信道中,要对一段信号进行传送,一般选用QPSK调制,因为QPSK调制比QAM更适合噪音环境。采用TI6000系列的TMS320C6711芯片处理前向信道信号,可以对复杂性和实时性较高的信号做采集、量化、编码、调制等实时处理,主要功能通过软件编程实现,从而使系统具有结构灵活、可靠性高、可扩展等优点。 相似文献