CMOS工艺聚酰亚胺电容型湿度传感器的研究

以正胶光刻和干湿刻蚀方法,结合CMOS工艺制备了聚酰亚胺电容型湿度传感器.研究了硅基、钼-铝栅条状电极湿度传感器的结构及亚胺化温度对其性能的影响.结果表明:相对湿度(RH)为20%～80%发生准静态变化时,该传感器的湿度-电容曲线具有较好的线性度;外界相对湿度在12%和92%间发生阶跃变化时,响应时间约为40 s.     

新型L形梁压阻微加速度传感器

介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形粱压阻微加速度传感器.在加工过程中采用Si-Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之间的粘合,使得后续加工工艺更加简单;采用DRIE释放梁结构,从而保证了梁结构的完整性.分析了该传感器的结构参数和灵敏度,并用ANSYS进行了有限元模拟,同时介绍了其工艺流程,以及封装后的测试结果.芯片尺寸为3.8 mm×3.8 mm×0.82 mm,其中敏感质量块尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,梁尺寸为2 200μm×100 μm×40μm.经初步测试,在采用5 V电源供电时灵敏度为0.5 mV/g左右,3 dB截止频率为520 Hz左右.     

针对容性负载的线性功率放大电路的稳定性设计

针对容性负载,从线性功率放大电路稳定性设计的角度,以某压电执行器为研究对象,通过分析相关的设计指标,选择出适用的功率运算放大器;运用噪声增益和反馈零点这两种相位补法,提高了电路的稳定性,避免了超调和振荡,通过理论计算、模型仿真、实物检测相结合的方式,逐步地验证了所做的稳定性设计是有效的、可行的。     

浅谈投射式电容触摸屏设计

投射式电容触摸屏以优越的可操作性和可靠性,逐步成为手机等电子产品的主流。文章从原理、结构等方面,简单介绍投射式电容触摸屏的设计要点。     

一种新型开路环谐振带通滤波器

利用开路环终端的内部电容耦合效应,提出一种结构紧凑,具有小型化和良好的二阶和三阶谐波抑制能力的开路环谐振器窄带带通滤波器.分析了开路环终端电容内部耦合结构变化对带通滤波器谐波抑制特性的影响,并利用上述结构仿真和设计了一个中心频率为1.5 GHz的带通滤波器,模拟结果与实验结果吻合良好,验证了滤波器的设计思想.     

Signal Acquisition and Processing Method for Capacitive Electromagnetic Flowmeter

A kind of signal acquisition circuit and the related signal processing method of the capacitance electromagnetic flowmeter (EMF) were introduced. The circuit can eliminate the influence of distributed capacitance on the input impedance of the operational amplifier, and greatly improve the input impedance of the detection circuit to overcome the disadvantage of high signal source impedance. The rotating capacitor filter is a signal processing method based on the phase-sensitive detection technology. It can extract the weak signal from the strong and wide-band background noise, so it is very suitable for the processing of capacitive electromagnetic flow signals. Through the comparison of the signal amplitude obtained at different flow rates and the comparison of signal spectrum components before and after the filter, the effectiveness of the bootstrap signal acquisition circuit and rotating capacitor filtering method is verified.     

离心机上辨识加速度计模型参数的优化试验设计

本文针对离心机上测试加速度计时可以在多个球面上布测试点的特点,研究了双球面组合试验计划的优化设计问题,得出了Ｄ 最优准则下一个优化的组合试验计划测度比,并进行了工程简化,得到了一个实用的准Ｄ 最优组合试验计划。     

闪光－I加速器的预脉冲电压研究

分析了闪光－Ｉ的预脉冲电压和降低预脉冲电压的效果,采用容性电压探测器实现了对阴阳极之间预脉冲电压的测量。在比较实测波形和预计波形后,提出了改进的等效电路模型,并指出了Ｂｌｕｍｌｅｉｎ中筒与二极管之间耦合电容的影响,提出了进一步降低预脉冲电压的途径。     

基于压电式加速度计的弹丸初速存储测试系统

针对内弹道过程具有高温、高压、时间短、速度变化快,同时伴随着剧烈的冲击与振动的特点,系统选用Kistler公司的8742A10型压电式冲击加速度传感器,采用CPLD作为控制核心,实现对弹丸内弹道加速度高速采样存储,经积分计算弹丸初速,进而评估内弹道加速度积分法测弹丸初速的测量精度.分析了系统的关键技术和算法精度.试验结果表明,该系统测速精度为0.93%,满足弹丸初速存储测试的要求.     

地下定向钻进姿态测量系统的设计

针对地下钻进的特殊要求,描述了一种定向钻进姿态测量系统,对系统具体的结构以及姿态解算方法同时进行了详细说明。该系统采用新型微硅加速度计和磁阻式磁强计作为姿态敏感器件,实时获取定向钻进中钻具的方位角、倾角和面向角信息。此系统具有体积小、成本低、可靠性高等一系列优点,非常适合地下钻进测量。