真空装置中的常见污染和清洁处理

主要介绍了真空装置中常见污染的形成、类型以及清洁处理的方法和真空工艺对环境的要求。     

新形势下中国半导体设备的发展对策

随着半导体生产热点全球性地向中国转移,国内的半导体设备行业面临着空前的巨大机会和前所未有的严峻挑战。在全面深入分析半导体设备特性以及行业发展特点的基础上,指出核心技术是产品性能和成本即市场生命力的决定性因素。针对当前国内半导体设备开发中普遍存在的偏差与误区,提出了努力促进企业自身对核心技术全面深入的掌握,不断增强其自主持续创新能力的半导体设备发展对策。以全自动引线键合机开发和市场的具体详细实例印证这一论断。     

发射机高压电容绝缘防护工艺对比

为保证发射机高压电源在各种气象条件下都能正常工作,需对其电路中的高压电容进行涂覆防护.高压电容使用醇酸清漆涂覆工艺,因其操作方法较为繁琐,并且不符合环保要求,需使用新的涂覆工艺.介绍了聚对二甲苯真空涂覆的特点,并和用醇酸清漆涂覆的高压电容进行了对比试验,并全面比较了两种涂覆工艺方法,从而确定了聚对二甲苯真空涂覆工艺的可行性.     

高密度密封电子设备热设计与结构优化

通过对一种高密度密封电子设备的设计实践,阐述了密闭设备结构热设计中的设计思想及一些具体散热结构.同时应用Flotherm热分析软件进行结构热设计验证与优化,从而对多种分析结果比较,并找出了适合该设备的散热模型,以供实际应用借鉴.     

适用于高电压测试的电容器分选机

分选是电容器交给用户前的最后一道质量保证工序,因而它决定了分选机的重要性。FX-120薄膜电容自动分选机主要进行容量不足检测、直流飞弧检测、直流双向耐压测试、损耗及容量测试并自动分选。主要介绍了该分选机的工作原理、基本机构、电气控制、气动控制、软件设计、关键技术及解决方案。     

SOI技术及其设备

介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅SOI技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机。     

数字仿真技术在电子战装备性能评估中的应用

介绍了基于数据流处理的数字仿真技术的基本概念及特点,结合现代电子战装备性能评估的需求,阐述了基于数据流处理的仿真技术在电子战装备性能评估中的具体应用和发展前景.     

基于智能化高压电力设备的状态监控系统设计

本文分析了电力设备的状态监控与诊断技术,提出了状态监控与诊断的构成框架,给出了基于状态监控与诊断的智能化高压电力设备的测试方法.     

小型低温真空光学实验装置设计

为适应未来遥感光学系统研究的需要,研制了一套低温真空实验装置.该实验装置包括低温真空腔体、真空抽气系统、ZYGO干涉仪和防震平台以及监控测温系统.其中的低温真空腔体是针对小型光学元件实验设计的,主要用于测量光学元件的温度场和低温变形,并且把电机产生的局部热量尽可能导出系统.文中还对真空低温腔的关键部件光学窗口和梯形支撑的设计进行了详细分析.     

氧化镍薄膜的制备及电化学性质

分别采用真空蒸镀_热氧化(VE_TO)及脉冲激光沉积(PLD)技术制备氧化镍(NiO)阳极薄膜材料,并利用XRD、SEM、循环伏安、充放电等方法对薄膜的结构和电化学性能进行了表征。结果表明,两种方法均制备了厚度均匀、表面光滑、与基片结合紧密、无缺陷、致密的纳米晶形NiO薄膜。采用PLD技术制备的薄膜颗粒更小、结构更有序,具有更高的电化学比容量,并且能承受大电流充放电。因此,这两种方法制备的NiO薄膜可根据充放电电流密度的要求有选择的应用于全固态薄膜锂离子电池中。