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891.
892.
用微波等离子体化学气相沉积法低温生长织构多晶硅薄膜   总被引:5,自引:0,他引:5  
贺德衍 《半导体学报》1998,19(9):661-666
本文报道用微波等离子体沉积/原子氢处理交互进行方法低温制备多晶硅(poly-Si)薄膜及其结构特征和光电特性.X光衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、光吸收、光电导等测量分析表明,柱状晶粒分布致密,呈现良好的(220)择优取向生长.锐利的光吸收边意味着样品中有很低的带尾态密度,光吸收过程主要由晶粒中电子的带间跃迁所支配.小的光电导激活能说明晶界缺陷密度低,晶界势垒小.所有这些都是由于在薄膜生长过程中引入了氢等离子体的周期性原位处理,不仅抑制了非晶态相的形成、促进了晶粒的生长及织构构造的形成  相似文献   
893.
适用于MPEG2标准的二种VLSI模块设计   总被引:4,自引:0,他引:4  
叶波  俞颖  章倩苓 《半导体学报》1998,19(12):919-926
本文提出了MPEG2视频解码器主要功能模块的专用VLSI结构.其中包括一种新的适用于MPEG2标准的IDCT实现方法,对于8点一维IDCT,只用7个变量乘常系数乘法器和10个加/减法器,在4个时钟周期内能处理完8点数据;通过合理分配画面存储结构,提出了一种新的流水线的运动补偿预测结构.用VHDL语言进行仿真,并用1.0μmCMOS单元库进行综合,满足MPEG2MP@ML视频解码的实时处理要求  相似文献   
894.
文章介绍串行CMOSE2PROM24CXX在IC卡中的应用,并以24C01为例对它们的读写操作和通信协议进行了重点阐述。  相似文献   
895.
氮化硅的应力严重制约着它的应用,但常见资料对氨化硅应力的分析颇略。本文较详细地介绍了PECVDSixNy,薄膜应力大小与制备工艺的关系,从而揭示了能有效地抑制SixNy应力的工艺途径。文中给出了大量数据,对许多实际问题进行了讨论。  相似文献   
896.
在室温常压静态条件下研究了以V2O5/TiO2为催化剂,紫外脉冲激光诱导H2S催化分解为H2和S的反应及其机理。考察了产氢量与激光不同照射条件之间的关系。  相似文献   
897.
报导一种模糊逻辑控制系统的建模与优化方法。以此方法设计的模糊逻辑控制器,用于双波长稳频CO2激光器的控制得到令人满意的结果。  相似文献   
898.
用大功率CO2激光器熔制WO3/Fe2O3新型烯烃歧化反应催化剂。考查了催化剂组成、激光功率及熔炼时间与丙烯歧化反应催化活性之间的关系。  相似文献   
899.
实验及临床研究结果提示,应用能量密度13~15J/cm2的CO2激光照射并发炎症的龋齿窝洞,能一次性杀灭龋洞内细菌、气化腐败组织,又不损伤正常牙体硬组织,为一次性充填治愈龋病奠定了良好的基础,从而大大缩短疗程,减少病人就诊的时间。  相似文献   
900.
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