Characteristics of sputtered zinc-oxide films prepared by UBM sputtering for thin film transistors

In this work, we describe the characteristics of zinc-oxide (ZnO) thin films synthesized on Si (001) and Corning (7059) glass substrates by unbalanced magnetron (UBM) sputtering under various ZnO film thicknesses and RF powers. We investigated the characteristics of ZnO films' structural, optical, and electrical properties with various film thicknesses and RF powers for the active channel in a thin film transistor (TFT). We used the UBM sputtering system for high rate deposition of ZnO films. The ZnO film surface was rough and the grain size of the film increased with increasing RF power and film thickness. The electrical properties improved with the increase of RF power and film thickness. These results can be explained by the improvement of the crystallinity in the ZnO film related to the grain size increase with increasing RF power and ZnO film thickness.     

薄起始层的VHF PECVD底栅微晶硅薄膜晶体管

对微晶硅薄膜晶体管,尤其对底栅型晶体管,在衬底和晶化层间存在一层非晶相起始层,这将严重影响器件性能.文中采用降低硅烷浓度的方法简便有效地减薄了用超高频化学气相法直接沉积的微晶硅薄膜起始层的厚度,得到起始层厚度小于20nm的微晶硅薄膜.在硅烷浓度为2%的条件下采用四版工艺制备了具有Al/SiNx/μc-Si/n+-μc-Si/Al结构的底栅微晶硅TFT,其开关比(Ion/Ioff)达到106,场效应迁移率为0.7cm2/(V·s),阈值电压为5V左右.     

新型非致冷红外探测器

介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测.     

基于可编程控制器的窑炉数据监控系统的开发和应用

简要描述基于PLC数据监控系统的硬件构成、工作原理、软件设计及电磁兼容措施,并介绍其实际使用效果。     

电流模式Poly-Si TFT AM-OLED像素单元的模拟设计

模拟和分析了作为电流模式多晶硅薄膜晶体管(poly-Si TFT)有源矩阵有机发光二极管(AM-LOED)像素单元的poly-Si TFT／OLED耦合对的J-V特性和poly-Si TFT电流镜的I-V特性。使用Mathcad数学计算软件和AIM-SPICE电路模拟工具,分别对OLED和TFT耦合对和TFT电流镜进行了模拟计算。理论上,采用电流模式的poly-Si TFT AM-OLED可以解决器件间的不一致性问题。无论迁移率的不一致还是阈值电压Vth的差异都可以被补偿,从而使灰度的一致性得以改善。因为采用了倒置的OLED结构,可以用N型poly-Si TFT作为电流阱来驱动OLED,所以像素的性能进一步优化。结果表明,poly -Si TFT／OLED耦合对的驱动电压低,在200A／m^2下不超过8V;而TFT电流镜的跟随能力很好,在0．0～2．5μA时饱和电压只有1．5～2．5V。     

多晶硅薄膜晶体管中的晶粒间界电荷分享效应

通过对晶粒间界两侧耗尽区建立准二维模型,研究晶粒间界电荷分享效应对多晶硅薄膜晶体管阈值电压的影响.研究表明,考虑了晶粒间界电荷分享效应的阈值电压将变小,其中晶粒尺寸对阈值电压的影响最大.在此基础上,建立了多晶硅薄膜晶体管的阈值电压解析模型.     

S3C2440A驱动RGB接口TFT LCD的研究

介绍了一款较典型的TFI型液晶屏的接口时序和逻辑要求,设计了嵌入式微处理器S3C2440A与该款带触摸屏功能的TFT LCD模组的接口电路,基于嵌入式Linux系统开发驱动程序,完成了RGB接口显示参数设置、图形界面显示调整及触摸屏控制等功能,实现了系统清晰、稳定的显示.实验表明,该方案通用性好,可以驱动不同分辨率的TFT LCD并提供显示与触摸控制功能;可移植性强,可以为各种嵌入式系统提供一个驱动TFT LCD的完整解决方案.     

HTM技术中细微图形成形效果的衍射理论分析与实验结果

针对使用半色调掩膜技术的TFT LCD玻璃基板曝光过程中的衍射和干涉现象进行了分析.文中给出了衍射和干涉现象的理论模型,并且对这两种现象在HTM技术中所起的作用进行了解释,尤其针对不同的狭缝宽度和狭缝间距的结构进行了分析.给出了扫描电镜的图片做为进一步的说明.     

多晶硅薄膜晶体管Kink效应研究与建模

多晶硅薄膜晶体管(P-Si TFTs)技术在SOP(system on panel)显示应用中发挥着越来越重要的作用.随着尺寸的不断缩小,P-si TFT 的Kink效应越来越明显,对有源液晶显示矩阵和驱动电路的性能影响很大.对发生Kink效应的物理机制、二雏数值仿真及其一维解析模型进行了分析,讨论了晶粒边界、沟道长度与Kink效应的关系,提出建立适合电路仿真的一维解析模型的关键与展望.     

TFT LCD技术的进步

叙述近年来ＴＦＴＬＣＤ品质的改善和技术进步以及信息系统集成在ＴＦＴＬＣＤ屏上的新技术。