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通过使用CCD采集电子束图像,来测试电子束着屏误差、电子束宽度、电子束配列因子、黑底配列因子和黑底条宽等五个参数,本系统由计算机作为控制核心,通过专用软件进行实时测量,大大提高了测试效率,实现多参数、全自动测量。针对系统研制过程中的核心问题,文中主要对系统聚焦和图像处理部分进行了讨论。  相似文献   
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