基于折叠型SIR 谐振器的双通带滤波器设计

文中提出了一种基于折叠型SIR 谐振器的双通带频率可控的微带滤波器,它由SIR 谐振器特性结合 传输线理论实现。该滤波器设计为具有两个自由度,调节谐振器的导带宽度可以对两个通带之间的频率及其间隔 进行调节。文中还研究了调整谐振器导带长度对滤波器频率特性的影响。测试结果表明,该微带滤波器有两个通 带,其中心频率分别为2. 79 GHz 和3. 90 GHz,带内最小插入损耗分别为-0. 96 dB 和-3. 0 dB,带内最小回波损耗分 别为-42 dB 和-18 dB,相对带宽分别为5. 7%和6. 7%。仿真和测试结果的一致性证实了滤波器设计的有效性。     

谐振腔光纤陀螺信号检测方法的研究

谐振腔光纤陀螺(R—FOG)是利用光学Sagnac效应实现对转动检测的一种高精度的惯性传感器件。在谐振腔光纤陀螺系统中，信号检测系统占有非常重要的地位，其检测精度的大小直接影响陀螺的分辨率。光纤环形谐振腔是谐振腔光纤陀螺的核心敏感部件。采用两种频率的锯齿波组合调制，考虑激光器有限光谱线宽条件下，采用洛仑兹线型描写光纤环形谐振腔的输出光强表达式。针对输出光强与谐振频率偏差在靠近谐振点附近的近似线性关系，利用多次反馈频率操作来依次跟踪谐振腔光纤陀螺顺时针和逆时针光束的谐振点，从而避免了谐振频率偏差复杂的求根算法。仿真结果表明，多次反馈频率操作，可以较快地锁定到谐振点。     

A cost-effective flexible MEMS technique for temperature sensing

A simplified, cost-effective flexible micro-electronic-mechanical systems (MEMS) technology has been developed for realizing a temperature-sensing array on a flexible polyimide substrate. The fabrication technique utilized liquid polyimide to form flexible film on the rigid silicon wafer using a temporary carrier during the fabrication. The platinum thin film is employed as temperature sensitive material and 8×8 temperature-sensing arrays were micromachined on the polyimide, from which the silicon wafer carrier was removed at the end of fabrication. The platinum thin film temperature sensor exhibits excellent linearity and its temperature coefficient of resistance reaches 0.00291 °C⁻¹. Because of the effective thermal isolation, the flexible temperature sensors show a high sensitivity of 1.12 Ω/°C at 10 mA to the constant drive current. The flexible MEMS technology based on liquid polyimide enables the development of flexible, compliant, robust, and multi-modal sensor skins for many other important applications, such as robotics, biomedicine, and wearable microsystems.     

一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计

给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度.经过风洞风速风向测试,得知传感器的风速量程超过10m/s,360°范围内风向测量误差不超过8°.传感器的响应时间不超过1s,功耗为10mW.     

反应堆抽运Xe激光多折腔研究

针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔。在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据。     

光网络开关中的微热学控制技术研究与应用

文中对热光波导光开关、喷墨气泡光开关、微热管光开关、热驱动MEMS 光开关等几种典型光开关中所涉及的热科学问题进行了评述。在对其关键问题进行深入分析的基础上,尝试提出了几类可能的解决方案,对于研究开发新型光开关及升级改进现有光开关技术具有积极的参考价值。     

MEMS压电水听器和矢量水听器研究进展*

基于微电子机械系统制造技术的MEMS压电水听器和矢量水听器具有小型化、低功耗、低成本、易成阵、无源、噪音低等优点。对基于ZnO薄膜的MEMS水听器和矢量水听器进行了研究,测试结果表明,硅微压电水听器的灵敏度为-192 d B(ref.1 V/μPa),基本达到实用化的要求。MEMS压电矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 d B(ref.1 V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 d B,但还未达到实用化要求。为了进一步提高MEMS矢量水听器的灵敏度,设计了具有U形槽的压电复合悬臂梁结构和电极串联结构,采用具有更高压电系数的掺钒ZnO薄膜作为压电层,并对MEMS制备工艺进行了改进,有望显著提高MEMS矢量水听器的灵敏度。     

硅的表面结构与电化学

从原子水平到微米尺寸,准确控制硅表面结构的精密加工,诸如无序的表面粗糙或者精细的图案,乃是电子元件性能及其可靠性的保证.硅在液中的湿清洗以及硅表面侵刻的电化学反应对硅表面结构的形成具有重要作用.近数十年来,有关阐明和控制硅/溶液界面上复杂的电化学反应及其与表面结构形成的关系已有大量的研究,相关研究成果已在新近编著成书.本文综合有关方面研究资料评述现代硅溶解及其形成的表面结构.     

光开关技术发展及应用

人们对光开关的研究巳有二三十年的历史，全光网络的发展，需要高速传输大量数据，光开关越来越受到重视。由于新的光开关技术不断涌现，光开关的规模化和集成化程度不断提高，为此介绍了光开关技术的发展现状及其应用。     

分层同轴介质谐振器谐振频率特性的研究

本文导出了置于无限平行导体板间和置于屏蔽结构中的任意分层同轴介质谐振器的TE、TM模场分量表达式以及求解TE、TM模谐振频率的一般耦合特征方程。对于同轴(l=3层)介质谐振器进行了深入研究和大量计算,得到了同轴(l=3层)介质谐振器的主模和一些高次模的谐振频率随几何尺寸和介质特性变化的关系曲线和数据表。