自控液晶光阀组式光刻快门研究

通过理论推导,构建了抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的数学模型,为液晶光阀代替穿孔带提供了理论依据.结合液晶光阀的工作原理和光刻快门的控制原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图.通过实际光刻试验,自控液晶光阀组光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计要求,刻出的图案清晰,线条陡直.证明液晶光阀组替代穿孔带用作光刻快门是完全可行的.     

LPCVD设备的高精度串级温度控制系统

在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。     

WinCC中应用MATLAB开发模糊解耦控制的方法

详细阐述了将MATLAB中开发的模糊解耦控制算法改写成一个C函数,将其封装在动态连接库中.通过WinCC调用动态连接库,将模糊控制的输出通过MPI多点传输协议传递给PLC驱动执行器,实现电石炉控制系统电极调节的模糊解耦控制.     

洁净室气态分子污染物的监测技术

随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。     

1,10-邻菲咯啉-5,6-二酮制备反应中副产物的形成与控制

由1,10-邻菲咯啉合成1,10-邻菲咯啉-5,6-二酮反应的副产物的形成与控制研究表明,1,10-邻菲咯啉在5,6位二酮化反应中的副反应产物及主产物分离时产生的副产物均为4,5-二氮杂芴-9-酮,二酮化反应条件(包括作为氧化剂的强混合酸H2SO4/HNO3的加入量、时间和温度)和主产物分离时体系的酸度对副产物的形成有重要影响,优化了二酮化反应条件和产物分离时的体系pH控制范围。在此优化条件下,可有效控制副产物的形成,使主产物1,10-邻菲咯啉-5,6-二酮的收率达到92%以上。     

YBO3:Eu荧光粉的水热法制备及形貌控制

用水热法在低于300℃成功地制备出具有不同形貌的YBO3:Eu3+荧光粉,其反应温度比固相反应了约800℃.研究了初始原料、pH值、反应温度、反应溶剂和催化剂等条件对目的产物形貌及粒度的,得到了具有Vaterite结构、粒度分布均匀的球形荧光粉的最佳合成工艺.在254nm激发下,水热法的球形Y0.95Eu0.05BO3荧光粉最强发射峰位于598nm处,属于Eu3+的5D0→7F1的跃迁,是固相反应所品的1.5倍.这些结果表明,在PDP和荧光灯等显示和照明用荧光粉的制备中水热法具有潜在的应用.     

延迟反馈法控制Genesio混沌系统

采用延迟反馈方法控制Genesio混沌系统,结果表明,延迟时间和控制强度的不同使得控制结果有较大的差异,控制方向的不同会影响控制实现的难易程度.     

天然高分子药物微球载体材料的研究进展

综述了国内外在天然高分子药物微球载体材料研究及应用中的进展状况,主要从天然高分子药物微球载体材料的分类、微球的制备方法及特点、载药微球的给药途径和应用等进行概括,并对目前所存在的问题进行了描述。     

一种基于FPGA的数字图像自动增益控制实现方法

针对图像对比度弱的情况,提出了一种基于FPGA的数字图像自动增益控制实现方法,较为详细地阐述了自动增益控制的基本工作原理,给出了相应的流程图和实际应用效果图。     

1553B总线控制方法研究

本文介绍了MIL-STD-1553B总线协议,总结了总线控制设计的一些基本准则。同时针对不同系统和功能要求探讨了总线控制的一些常用方法。