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远扬 《激光与光电子学进展》2001,(4):29-36
具有大双折射特性的聚合物可构成多层反射镜 ,其反射率随入射角的增大保持不变或随之增大。这种多层干涉堆叠结构最重要的特征是 :厚度方向 (z向 )折射率的差异与膜的平面方向相关。这一差异产生一个变量 ,该变量决定了层间界面布儒斯特角的存在和大小 ,并控制确定多层堆叠光学系统的界面菲涅耳反射系数和相位关系。此种膜能获得传统多层膜光学结构难于或不可能得到的光学效应。制备这种膜必需的材料与工艺适合于大规模制造业。制作反射镜有两种方法 :使用一层金属表面 ,或用多层透光介电材料构成调谐干涉堆叠结构。金属反射镜造价不高 ,且… 相似文献
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将悬臂梁结构与平行平板型结构相结合,研发了一种挠曲式静电驱动微电子机械系统(MEMS)微反射镜。为了实现大扭转角度、小驱动电压的设计目标,通过仿真实验进行对比分析,确定了微反射镜的相关尺寸。采用低压化学气相沉积、光刻、反应离子刻蚀和溅射等工艺,成功制备出了一种具有三层多晶硅结构的微反射镜。在制备过程中得出氢氟酸去除牺牲层(磷硅玻璃)释放出微反射镜结构的最佳刻蚀时间为45 s。制作了开关频率为200 kHz的MOSFET高速驱动电路,电路中的栅极驱动电阻(RG)是影响输出的关键因素。实验结果表明,当RG额定功率为300 W、电阻为47Ω时,微反射镜能够达到足够启动速度,实现高速开关的设计目标。最后,设计并搭建了微反射镜的测试系统,施加60 V的驱动电压进行测试,通过显微镜观察到微反射镜的明显动作变化以及屏幕上光斑的位移变化,表明制备的微反射镜可正常驱动。 相似文献
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1.8 m×0.5 m口径的长条形主反射镜是某空间离轴三反光学系统的重要光学元件,其面形精度的好坏是决定光学系统在轨成像质量的关键。为保证主镜组件结构的稳定性、可靠性及反射镜的面形精度,提出一种适用于大尺寸长条形反射镜的双轴柔性支撑结构。首先,基于运动学等效原理提出双轴柔性支撑的初始结构,建立了柔性环节刚度数学模型并研究了其刚度特性。然后,对柔性支撑的安装位置进行了参数化研究并对柔性支撑的关键尺寸进行了优化设计。最后,确定了反射镜组件的最终设计方案。仿真与试验结果表明,反射镜组件一阶固有频率为104 Hz。X/Y两个光轴分别对径向施加1 G重力时面形精度RMS值分别为4.81 nm、6.09 nm,优于λ/50(λ=632.8 nm),均满足设计要求。组件正样动力学环境试验表明,反射镜组件的动力学特性良好,柔性支撑系统稳定可靠,与仿真结果一致。目前反射镜全口径面形精度已加工至λ/30 RMS,并在此精度下进行了自重0°/180°的±1 G面形检测试验,结果显示其稳定性良好。 相似文献
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赋形波束环焦反射镜天线 总被引:1,自引:1,他引:0
本文提出在环焦反射镜实现波束赋形的技术,可以按各种业务需求使天线波束成为特定形状。由这种技术设计的天线可以满足气象卫星、太阳同步轨道卫星遥感和双星快速定位系统的要求。 相似文献
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空间用轻量化反射镜可以用弹性薄板作反射面,用带驱动器的刚性轻量化框架作支撑结构制成。反射镜的面形精度通过测量波阵面的反馈信息调节驱动器来主动地保养。美国亚利桑那大学已制成两个这样的反射镜。一是NASA制作的2m NGST反射镜系统样品,其面密度为13kg/m^2,这个反射镜已通过低温检验,另一个是50cm反射镜,其面密度仅为5kg/m^2。本文讨论了这两个反射镜的制作过程。 相似文献