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81.
王新  丛凡超  罗明海 《微电子学》2024,54(1):145-148
采用磁控溅射“共溅射”方法,将Ar气作为溅射气体,高纯NiO和MgO双陶瓷靶作为溅射靶材。当控制NiO和MgO靶的溅射功率分别为190 W和580 W,溅射真空度为2 Pa,衬底温度为300℃时,得到了Mg掺杂的NiO(Ni0.61Mg0.39O)薄膜。该薄膜是一种具有(200)择优取向的晶态薄膜。薄膜表面比较平整,晶粒分布致密,晶粒尺寸约46.9 nm。(200)衍射峰位置相对未掺杂的NiO薄膜向小角度偏移约0.2°。合金薄膜在可见光波段具有较大的透过率,而在300 nm附近透过率陡然下降,其光学带隙向高能方向移动到了3.95 eV。该研究为采用磁控溅射制备高质量的Mg掺杂的NiO薄膜提供了技术支撑。  相似文献   
82.
铌酸锂晶体具有非线性效应、电光效应、声光效应、光折变效应、压电效应与热释电效应等多种物理特性,在表面声波器件、光电器件、声光器件等方面获得广泛的应用.经历了六十多年的发展,铌酸锂晶体历久弥新,随着材料特性的不断开发,新功能、新器件、新应用层出不穷,尤其是铌酸锂单晶薄膜在薄膜滤波器、集成光电器件等领域的性能具有明显优势,...  相似文献   
83.
本文采用可逆加成-裂解链转移(RAFT)聚合制备了含酰肼基和硼酸基团的N-异丙基丙烯酰胺双嵌段聚合物和含有酮羰基和葡萄糖基团的丙烯酰胺双嵌段聚合物.在不同条件下构筑了基于酰腙键和硼酸酯键交联的双动态共价键交联水凝胶,通过对其流变行为的测试探究了凝胶的综合性能.酸性条件下,硼酸酯键不能形成,酰腙键使凝胶快速形成并实现快速...  相似文献   
84.
膜厚均匀性作为高精度光学薄膜的重要参数,对光学薄膜的性能起到至关重要的作用,特别是大尺寸高精度反射膜,对膜厚均匀性的要求极高。本文通过研究蒸发源的发射特性与膜厚分布,结合Mathcad软件建立精准数学及物理模型,编写自动程序,模拟修正挡板形状,极大地提高了薄膜制备均匀性修正的效率与准确性。通过该方法,在公自转行星蒸发沉积设备上制备了直径为320 mm的非球面深紫外反射镜,在紫外(240~300 nm)波段平均反射率大于97.5%,均匀性优于0.5%。本研究对大口径非球面薄膜的均匀性修正提供了理论基础与技术支撑。  相似文献   
85.
由于FeS2具有窄的禁带宽度(Eg=0.95eV)和高的吸收系数(α>6×105cm-1),使它成为一种很有发展前途的太阳能材料。本文主要介绍了用射频溅射制备铁膜,然后在真空中(10-1Pa),通过控制时间和温度进行硫化。经XRD和AES对薄膜进行分析,表明试样在硫化温度T=400℃,时间t=48h的条件下,Fe膜转变为FeS2膜  相似文献   
86.
通过求解Poisson方程,对热平衡态金属:p-n-CdTeSchotky势垒薄膜太阳能电池进行计算机数值模拟。嵌入的p型层增大传统金属:n-CdTe结的有效Schotky势垒高度与p型层厚度、掺杂浓度以及n-CdTe本底电阻率有依赖关系。最后讨论嵌入p型层增强CdTeSchotky势垒太阳能电池对光生载流子的收集作用。  相似文献   
87.
根据钛宝石激光器的要求设计了性能优良的两种负色散镜(NDM1和NDM2)。NDM1同时引入啁啾效应和G-T效应产生大的群延迟色散量以减少光在负色散镜上的反射次数。NDM2仅引入G-T效应产生较小的群延迟色散以补偿腔内自相位调制带来的部分啁啾。选用离子束溅射法制备了这两种负色散镜。用分光光度计测试了它们的透射率。结果表明,所制备的负色散镜的性能与设计性能非常接近。使用这两种负色散镜进行掺钛蓝宝石激光谐振腔内色散补偿实现了飞秒脉冲锁模,获得了15 fs的超短脉冲。  相似文献   
88.
喷墨印刷沉积的PEDOT/PSS薄膜导电性能   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用压电喷墨印刷技术沉积了PEDOT/PSS有机导电薄膜,研究了退火温度和乙二醇掺杂对薄膜导电性能的影响。实验结果表明:未退火和退火温度为120,140,160℃时,薄膜表面平均粗糙度分别为8.15,4.10,3.36,2.66nm;乙二醇掺杂使导电激活能由未掺杂时的0.096eV减小为0.046eV;电导激活能减小表明PEDOT分子链从低电导率的卷曲构象向高电导率的伸展构象转变;此外,乙二醇掺杂促使PSS与PE-DOT/PSS分离,使团聚的PEDOT/PSS颗粒变小从而分散更均匀,降低了表面粗糙度。  相似文献   
89.
基于红外探测器在国民经济与军事上有重要应用,国内外学术界很注重对此的研究。一般最常用的是碲隔汞红外探测器,以及最近研究较多的量子阱红外探测器。这类器件虽然有较高的深测灵敏度,但它们必须在低温条件下使用.另一类是在室温条件下使用基于热电效应的铁电红外探测器.近年来,国外对铁电薄膜型的探测器研究更为重视,曾发表了不少论文.本文报道我们在研制室温薄膜红外探测器方面的工作。探测器样品以LaAlO3晶体为片基,在它上面通过沉积法依次制备高温超导薄膜层(YBCO)和掺来的铁电薄膜层PZT,再在其上面蒸镀一层金电极.…  相似文献   
90.
邵林飞  李合琴  范文宾  宋泽润 《红外》2009,30(11):30-34
VO2是一种热致相变材料.发生相变时,VO2的电阻、红外光透过率、反射率都会发生显著变化.采用直流反应磁控溅射法,通过改变氧氩比(O2:Ar)、工作气压、衬底温度等制备工艺参数,研究了工艺参数对VOx薄膜的结构、电阻-温度性能的影响.结果表明,当氧氩比为1.0:15、工作气压为2.0Pa时,制备的薄膜中VO2的含量较多;衬底温度为250℃时,制备的VOx薄膜的电阻一温度突变性能最佳.  相似文献   
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