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921.
非球面广泛应用于光学系统中。表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程。对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提。提出了一种基于虚实结合干涉仪的部分补偿非球面参数误差测量系统。在该系统中,采用部分补偿干涉法测量剩余波前,复用干涉仪利用轴向扫描透镜的猫眼波前定位法测量补偿镜与被测镜之间的间距,采用虚实结合迭代算法进行参数误差求解。该系统仅需在部分补偿干涉光路中引入会聚透镜,装调简单,测量精度高。通过一个四次非球面参数误差测量实验验证了该方法的有效性和精度。 相似文献
922.
计算全息检测非球面的模拟计算研究 总被引:1,自引:0,他引:1
非球面与球面相比具有更好的光学性质,应用越来越广泛,但一直受到光学加工和检测技术的限制.用计算全息的方法对非球面进行干涉检测,是目前最成功和最重要的检测方法之一,但在实际应用中,由于待测光和参考光通过计算全息(CGH)后各自均有多级衍射光,其传播方向和干涉情况又受参考光照射方向及衍射距离的影响,导致在实验中不容易判别光路调节是否正确,以及哪一组干涉图样是我们真正需要的.针对这个问题,我们对计算全息检测非球面整个过程中的衍射、干涉进行了模拟计算,通过改变参数,得到了一些有益的结果,通过它们能对实验进行预判和指导,从而避免盲目性和误判. 相似文献
923.
924.
925.
高质量光刻胶微小透镜阵列的制作 总被引:6,自引:1,他引:5
本文对光刻胶熔融法制作微小透镜阵列的机理进行了进一步深入的理论和实验研究,特别是提出和研究了非球面表面的形成问题。对微小透镜,特别是非球面形成过程的参数控制,例如对光刻胶小圆柱的高度、熔融光刻胶和基片的接触角的控制进行了较详细的讨论。我们制出了具有较好性能的微小透镜列阵,并给出了测量结果以及实物和成象照片。最后,给出了一种建议采用的实时控制高质量微小透镜列阵形成的装置方案。 相似文献
926.
介绍医用X光电脑电视系统中CCD强光力物镜的设计原理及方法,给出了设计实例及用像点弥散斑直径对物镜像质的评价结果。 相似文献
927.
本文叙述无中心遮光反射镜式望远镜的计算方法。计算分为五个阶段。它们是选择原始的同轴光学系统;在三级象差的范围内计算反射镜的变形;计算无中心遮光的反射镜系统;根据象差校正程序实现象差最优化;完成最后的计算。 相似文献
928.
非球面零检验的Dall补偿器设计 总被引:1,自引:0,他引:1
根据三级像差理论,推导Dall补偿器在检验光路中几种形式下的初始结构参数计算公式。讨论计算机最佳化设计方法并给出设计实例。 相似文献
930.
为了研究波长在255.3nm的铜蒸气激光倍频在亚微米光刻中的可行性,设计了带宽为1nm的1:1折反射式投影光刻物镜和一个带散射板的光管式均匀照相系统,获得了0.6μm的光刻分辨率。此结果表明,铜激光倍频光可作为亚微米光刻的照明光源。 相似文献