EB制作1：1主掩模的工艺研究

一、前言众所周知，在掩模制造技术中，常规的光学方法制作主掩模流程如图且（a）所示，制作一块主掩模需用版材两块。电子束制作主掩模的流程如图1（b）所示，制作一块主掩模只用版材一块。比较图亚（a）和（b），可清楚地看到，（a）的制作流程长，费时且费料，（b）的制作流程短，节省材料，降低成本。凶！主掩模制作流程图随着集成电路规模的不断增大，芯片面积越来越大，有些已超出了精缩机的视场范围，精缩机的视场是100mmX100mm，用光学方法制作主掩模已不能完全满足用户的需要。由于以上种种原因，研究开发采用电子束设备（简称＊B…     

二维离子注入的改进模型及数值模拟

本文提出了一个改进的二维离子注入模型.对于在任意形状掩蔽边界下的离子注入分布,我们在纵向采用联结的半高斯分布或修改过的Pearson-IV分布,在横向采用余误差函数分布,并且考虑了在多层掩蔽情况下各种材料阻止本领的不同.利用这一模型发展起来的离子注入模拟器能连续计算多次不同能量、剂量和杂质类型的注入分布,并考虑了多种不同掩蔽边界的影响.通过与其它工艺模拟器的比较,表明我们的模拟器在精度和功能上都有明显的改进.     

采用PCI9052设计PCI总线运动控制卡

引言 运动控制技术在工业、办公和家庭等自动化方面的应用日益广泛,控制形式也由以机械提供动力驱动的简单启停控制,发展到对其位置、速度、加速度、转矩等的精确控制.原先的"电机拖动"、"电气传动"已经发展到"运动控制"的新阶段.     

聚光辐射计

美国喷气推进实验室最近提出一种在中心为A557 GHz的频带中工作并以锥形或环形模式扫描的聚光(spotlight)辐射计。这种聚光辐射计是被设想用来获取火星大气中CO及H_2O分子的空间和光谱分辨数据的。其基本设计思想也适用于地球,而且它可以在不同的亚毫米波波段中工作。     

数字电视区域控制功能模块的设计与开发

根据广西有线数字电视运营的现状和业务发展的需要,需对用户实行区域控制.区域控制是有线数字电视运营中防止机顶盒漫游的一种控制技术.阐明了区域控制技术的概念、基本原理,在桂创无卡CA系统上开发了区域控制模块,有效解决了广西有线数字电视运营中对区域进行灵活控制的需求.     

改良型卡塞格林系统的加工检验

卡塞格林系统是望远系统中最经典的反射式光学系统。常规的卡塞格林系统成像点在系统以外,可以直接采用干涉仪检验。而改良型卡塞格林系统成像点在两镜之间,无法用常规方法进行检验。基于系统特性,主要分为两步检测:对主镜进行精确检验;通过检验系统的弥散斑评价成像质量。在采用轮廓仪测量、阴影法检验以及Zygo干涉仪检测的基础上,通过搭建特殊结构对系统进行精确检测。同时,在检验过程中要边测量边修正面形,使得系统成像质量符合使用要求。     

ARM Cortex-M3微处理器测试方法研究与实现

作为32位RISC微处理器主流芯片,ARM芯片得到长足发展和广泛应用。因而,ARM芯片的测试需求更加强劲的同时,测试工作量在加大,测试复杂度也在增加。本文给出了基于ARMCortex-M3的微处理器测试方法,该方法也可用于类似结构的微处理器测试。     

门诊“医卡通”助力医院信息化

门诊"医卡通"系统是医院信息化建设的重要组成部分,它的实施有利于节约病人的就诊时间,减轻医务人员的工作负担。进一步推进了医院信息化建设的进程,提高了医院的整体工作效率、资源利用效益及智能化管理水平,对实现医院管理现代化起到积极的作用。     

湖南省社会保障一卡通建设情况汇报

国家"十二五"《规划纲要》规定了"推行社会保障一卡通,全国统一的社会保障卡发放数量达到8亿张,覆盖60%人口"的目标。按照规划要求,湖南省从2012年开始逐步开展社会保障卡发行工作。2014年1月,国家发改委、工信部、财政部等12个部委联合发布了《关于加快实施信息惠民工程有关工作的通知》,在通知中也明确提出"要以建立更加便民快捷的一体化社会保障公共服务体系为目标,加快推进社会保障一卡