先进节点接触层照明类型优化解决光刻制造要求

先进节点逻辑集成电路制造是当前工业界的领先工艺。为实现接触(Contact)层的光刻工艺,需要从两个关键方面进行处理:解析度和全间距的共有工艺窗口。离轴照明+相移掩模+亚解析度辅助图形多种解析度增强技术的组合使用是解决光刻成像的方法。从优化接触层离轴照明的类型方面解决光刻制造工艺的问题。     

用AutoCAD绘制正等轴测图的方法

工程设计中常采用正投影方式获得的视图来表达物体的实际大小和相互之间的定位尺寸关系,正投影作图简便,度量性好,广泛应用于机械电子等设计行业,但其缺点是直观性较差。而轴测图采用平行投影法将物体和坐标轴沿不平行于任何坐标轴的方向投射在单一投影面上获得具有立体感的投影图,直观性好,容易看懂,常作为正投影的辅助工程图使用。本文介绍了一种在二维空间绘制正等轴测投影图的方法,并结合案例进行了分析。     

阿朗“瘦身”聚焦主营业务

Light Reading2013年阿尔卡特朗讯将会变得更加轻巧,雇员变得更少,标志着其端到端全方位服务时代已经结束。在近日举行的第三季度盈利电话会议上,阿朗首席执行官Ben Verwaayen重申,他正在仔细地挑选通信部门中最好的部分并使其得以强化。为了做到这一点,阿朗将从一些市场中退出,并且出售部分资产2013年阿尔卡特朗讯将会变得更加轻巧,雇员变得更少,标志着其端到端全方位服务时代已经结束。(未确定具体资产内容)。     

累积轧制Ti／AI复合材料的微观结构演变和力学性能研究

用累积轧制法成功制备了平均晶粒尺寸为200--300nm的超细等轴晶Ti／A1多层复合材料．研究了Ti／A1多层复合材料的微结构变化和力学性能．     

一种带疏水长链的水溶性偶氮引发剂的合成及端基疏水聚合物疏水缔合效应研究

以偶氮二异丁腈、十二胺为主要原料,通过Pinner反应制备了一种两端各带有12个碳烷基链的水溶性偶氮引发剂——2,2'-偶氮二异丁基十二脒盐酸盐AIBL.采用核磁氢谱、元素分析及液相色谱对AIBL进行了结构及纯度表征,采用TGA、DSC和紫外分光光度计研究了其热分解现象和热分解动力学,采用表面张力仪对其表面活性进行了测定.结果表明,所合成的引发剂AIBL具有预想的结构和较高的纯度,其热分解反应属于一级反应,热分解活化能为134.80 k J/mol,70℃下水中的半衰期约为4 h;AIBL在水溶液中具有表面活性,其临界胶束浓度为0.13 g/L,对应的表面张力为33.57 m N/m.以丙烯酰胺为单体、AIBL为引发剂制备了水溶性端基疏水聚合物SPAM.采用溴化法研究其转化率,应用乌氏黏度法、零切黏度法以及荧光探针对其缔合作用进行了研究.结果表明,AIBL具有良好的引发丙烯酰胺聚合的能力;相对于不带疏水长链的引发剂所合成的聚合物PAM,SPAM具有明显的疏水缔合效应,这说明AIBL成功地将疏水长链引入到聚合物的端基中,从而形成端基疏水聚合物.     

离轴非球面零位补偿检验的非线性畸变校正

在大口径、快焦比非球面的补偿检验中，入射光线在短距离内发生大角度急剧折转，导致干涉仪面形检验结果图像产生非线性畸变，严重影响了数控小磨盘抛光的位置精度和误差去除效率。为了校正离轴非球面在补偿检验中产生的图像畸变，提出了一种校正非线性畸变图像的方法，通过同心环带法确定畸变中心位置并利用光线追迹建立被检镜到干涉图的映射关系。针对某一光学系统的520 mm×250 mm的离轴抛物面主镜进行了畸变图像的校正，校正结果面形与工件面形的位置偏差降到1 mm以下，满足小磨盘抛光的工作要求。     

基于机器视觉的红外瞄具零位走动量检测系统

为满足红外瞄具零位走动量数字化、高精度的检测需求,设计了基于电荷耦合器件(CCD)机器视觉技术的红外瞄具零位走动量检测系统。提出一种新的零位走动量检测模型,依据检测系统的技术指标及要求,设计了离轴抛物面反射式准直光学系统及针孔靶。为减小由相机倾斜引入的测量误差,建立了相机姿态自适应校正模型,并首次将其应用于零位走动量测量中。设计了图像判读软件,采用重心法对靶标中的圆斑中心进行定位,利用泽尼克矩的旋转不变性,对边缘像素点进行细分。成功研制了一台样机,加工装调后进行了测试实验,结果表明,系统的不确定度优于0.02mil,能有效避免由相机倾斜引入的测量误差,满足红外瞄具零位走动量数字化、高精度测试要求。