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《微纳电子技术》2019,(2):151-156
为了去除蓝宝石化学机械抛光(CMP)后表面残留的抛光液,采用表面活性剂复配清洗法,选用非离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚9 (AEO9)和阴离子表面活性剂脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠(AES)按不同质量比复配,并与酸碱清洗法进行了对比。对CMP后的蓝宝石进行超声辅助清洗实验,分析了不同复配比对于蓝宝石晶片清洗后表面接触角、表面形貌以及颗粒去除率的影响。结果表明:表面活性剂复配清洗法的清洗效果优于传统的酸碱清洗法,最优配比的表面活性剂复配清洗法的颗粒去除率较酸碱清洗法提升了31.17%;当表面活性剂复配清洗法中AEO9与AES复配比为1∶1时,清洗后的蓝宝石表面接触角最小,为21.6°,表面形貌最优,颗粒去除率达到99.65%,清洗效果最好。 相似文献
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传统盲人的拐杖仅仅是一根普通长棍,盲人只能感觉接触到的障碍物,使得他们在行走中充满了安全隐患。针对这个问题,本文基于STC单片机设计了一种盲人辅助行走拐杖,该设计模仿蝙蝠避障原理,利用嵌入式技术和超声波测距技术,探测盲人正前方的障碍物,由单片机控制收集信息,并利用相关软件处理,对需要进行警告的信息进行人性化语音提示。实验结果表明设计的盲人辅助行走拐杖能够有效帮助盲人识别障碍物与自己之间的距离远近,供盲人提前作出应对方案,减少行走过程中的危险,从而达到辅助盲人独立行走的目的。同时拐杖采用特制的可伸缩折叠结构,使之更加便于不同的用户群使用。 相似文献
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本文主要归类并总结SF6气体绝缘类性的电气设备在运行中经常出现的局部放电故障类型,并针对此类设备故障类型提出采用超声波局放带电检测方法来诊断与检测,另外还对电气设备故障诊断采用超声波方法的检测与应用原理进行分析,并通过超声波方法检测SF6气体绝缘电气设备比较典型的故障图谱进行比照分析.同时本文还根据实例来探讨超声波检测SF6气体绝缘电气设备局部放电情况,而实际应用结果证明SF6绝缘电气设备采用超声波检测局部放电情况具有较高的准确性与灵敏度,可以精准的检测出自由金属颗粒、悬浮放电以及电晕放电等缺陷问题,该种检测方法多在带电检测方面、交接试验方面以及电气设备出厂试验方面具有较高的应用前景与使用价值. 相似文献
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一种提升时差法超声波流量计精度的方法 总被引:3,自引:0,他引:3
应用时差法测量原理设计的超声波流量计,计时的准确度直接影响流量计计量精度.采用53H的改进算法能有效剔除由混响、电磁干扰等引起的误差计量,实验仿真和在硬件上的实际应用,证明该算法是有效的. 相似文献