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调制传递函数(MTF)是评价光学系统成像质量的重要指标。根据光学传递函数测量的理论基础,以狭缝、刀口作为目标物,搭建了一套适用于工业用光学镜头的调制传递函数(MTF)测量、成本低、结构简单、精度高、稳定性好的测量光路,并根据光路特点编译了相关测量软件。测量软件根据自动聚焦的基本原理进行了自动调焦的开发,在兼顾效率和精度的前提下,分别采用爬山法和传统方法作为粗调焦和细调焦的调焦搜索算法,并根据不同物镜的成像特点采取不同聚焦函数进行聚焦判定。通过实验显示,该MTF快速检测系统具有良好的稳定性。 相似文献
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结合车间调度问题本身的特点,采用关键路径块邻域结构,混合禁忌搜索算法和粒子群优化算法,设计了一种快速混合调度算法.该算法对预选择的块邻域解的性能进行快速估计,对不可行解尽早舍去,大大减小了邻域解的搜索空间.仿真结果表明,该算法在求解平均时间和性能方面均具备明显优势. 相似文献
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投影光刻机硅片调焦调平测量模型 总被引:4,自引:1,他引:4
成像质量是光学光刻机的最主要指标,硅片调焦调平测量是光刻机控制成像质量的基础.为此建立了硅片调焦调平测量系统单个测量点的测量模型,并根据硅片形貌标准和集成电路尺寸标准,推导了近似运算规则,简化了曝光场高度与测量光斑在光电探测器上的位置之间的数学关系.运用最小二乘法和平面拟合曝光场曲面的方法,推导了基于多个测量点的曝光场高度和倾斜测量的数学模型.该模型能满足调焦调平实时测量和控制的需要,可用于测量精度优于10 nm的高精度调焦调平测量系统,能满足线宽小于100 nm投影步进扫描光刻机的需要. 相似文献
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航天立体测绘相机受卫星发射过程的振动、冲击以及复杂的空间环境的影响,相机的靶面将不同程度地偏离相机的焦平面,导致图像分辨率下降.对于测绘相机,其主点位置和主距变化量直接影响地面目标定位准确度.为了弥补利用编码器进行检焦的不足,提出了一种基于像散量的检调焦方法.该方法采用四象限光电探测器测量相机靶面变化引起的像散量,参照已标定的靶面位置与像散量之间的关系,计算出靶面偏离相机焦平面的实际大小和方向.这种检焦方法包含引起相机靶面离焦的所有因素,试验结果表明,基于像散法的测绘相机调焦机构的分辨率可达0.025 mm. 相似文献
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为了实现机载光电跟瞄系统的捕获与跟踪功能,针对机载环境狭小的空间设计了一款紧凑型中波红外相机。首先从机载平台的应用需求出发,提出了红外相机的各项性能指标。然后,采用二次成像与二次折转的方案对红外相机的光学系统进行了设计与优化,并研制出一套高精度调焦平台用以光学系统的距离与温度调焦;采用箱体式结构方案对红外相机的支撑基座进行了优化设计,有限元分析结果表明所设计的支撑基座具有足够的结构刚度。最后,在完成机载中波红外相机精密加工、装配与调试的基础上,采用光电测试平台对红外相机的焦距、视场角、噪声等效温差(NETD)和调制传递函数(MTF)等参数进行了实验检测。结果显示:相机的焦距、视场角等与理论设计较为符合,NETD为22mK,在探测器的极限空间频率处相机的MTF不低于0.58,接近衍射极限水平。因此,所研制的机载紧凑型中波红外相机工作灵敏度高、成像质量好,满足机载平台的应用需要。 相似文献
37.
射频识别技术中,防碰撞问题是提高系统读取效率的关键问题。文章在传统防碰撞算法的基础上,分析了ALOHA的防碰撞算法和二进制搜索算法。并提出一种改进的动态二进制搜索算法。利用曼彻斯特编码可以准确识别碰撞位的特性,当读写器检测到碰撞位之后,仅需要记录最高碰撞位和次高碰撞位的位置,并设定这两个位置上的比特数作为下次查询命令,从而使系统的传输数据量、传输时间大大减少,改进后的算法比二进制搜索算法更具优势。 相似文献
38.
首先介绍了视频压缩系统,并在此基础上阐述了运动估计块匹配算法,分别介绍了块匹配的基本原理、提高运动估计效率的几个关键技术,分析了传统的基于块的运动估计块匹配算法和后来改进的匹配算法的性能,同时在分析MPEG-4特性的基础上,阐述了未来的运动估计匹配算法的发展趋势。 相似文献
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一种新型调焦机构设计 总被引:3,自引:0,他引:3
设计了一种用于空间光学遥感器的调焦结构,结构采用正反螺旋的丝杠、双螺母和双连杆,弥补了传统调焦机构的不足。机构精度为0.0021~0.0029mm。工程分析结果表明,该机构动态刚度好、环境适应性强,适合在空间光学遥感器中使用。 相似文献
40.