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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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一种传真机计算机无线通信系统何文才计算机和传真机是两项极为重要的现代办公通信设备。由于种种原因,这两项业务的传输手段主要是依靠邮电部门提供的有线电话网。虽然有线电话网在常规情况下具有传输稳定可靠的优点,但在自然灾害(大风、大水、大雪大火等)和异常情况... 相似文献
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多媒体技术的发展和现状赵锦(广电部信息中心100866)前言伴随计算机技术和数字技术发展起来的多媒体技术日趋成熟,已经成为当前的一个热门话题。有人把它看作是继印刷和广播电视之后的第三代信息传播媒体,同上两代媒体的出现一样,必将对人类社会产生巨大的影响... 相似文献
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本文介绍一种高速、通用的外部设备接口-小型计算机系统接口SCSI(Small Computer Systems Interface),主要叙述了该接口的特性、结构、工作原理、命令格式、适用范围及优越性。 相似文献
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在宁夏南部半旱山区的研究结果表明,满足籽粒产量最大时所需的补充灌水量为200mm;满足作物水分利用效率最高所需的补充灌水量为100mm;满足灌水效率最高时所需的补充灌水量为60mm,60mm补充灌水条件下可使春小麦的耗水量从240mm增加到320mm左右,同时明显地使作物产量、水分利用率和灌水效率得以同步提高,作物对土壤储吕的利用程度也相应增强。 相似文献
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郑春龙 《电气电子教学学报》1998,(1)
本文介绍了在教学过程中面对内容多、学时少、学生基础较弱等困难,对各个教学环节所作的一些改革尝试,和取得的教学效果。 相似文献