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Effect of Silane Flow Rate on Structure and Corrosion Resistance of Ti-Si-N Thin Films Deposited by a Hybrid Cathodic Arc and Chemical Vapour Process 下载免费PDF全文
Ti-Si-N thin flms with different silicon contents are deposited by a cathodic arc technique in an Ar+N2+SiH4 mixture atmosphere. With the increase of silane flow rate, the content of silicon in the Ti-Si-N films varies from 2.0 at. % to 12.2 at. %. Meanwhile, the cross-sectional morphology of these films changes from an apparent columnar microstructure to a dense fine-grained structure. The x-ray diffractometer (XRD) and x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results show that the Ti-Si-N film consists of TiN crystallites and SiNx amorphous phase. The corrosion resistance is improved with the increase of silane flow rate. Growth defects in the films produced play a key role in the corrosion process, especially for the local corrosion. The porosity of the films decreases from 0.13%to 0.00032% by introducing silane at the flow rate of 14sccm. 相似文献
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净辐射系数是数值模拟中表征等离子体辐射属性最常用的参数。考虑了线谱、连续谱和分子带状谱等多种辐射机制,计算了3~25 kK不同Fe含量下[82%Ar-18%CO2]-Fe等离子体的净辐射系数,为GMAW电弧(82%Ar-18%CO2保护气,低合金钢焊丝)的数值模拟提供了完整的辐射属性数据。此外,通过分析发现,当Fe蒸汽加入到82%Ar-18%CO2混合物中,即使Fe含量极低,等离子体净辐射系数也会显著增大。同时,由于Fe的加入,原本辐射贡献率较高的分子带状谱和连续谱辐射相对线谱辐射可忽略不计。 相似文献
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本文以高温壁面上的静止液滴为研究对象,对其蒸发特性开展了理论研究.不同计算工况下得到的液滴蒸发过程中半径和蒸汽膜厚度变化与实验值吻合良好.结果表明随着壁面温度的降低,蒸汽膜厚度逐渐减小.结合表面粗糙度的影响,研究中提出了 Leidenfrost温度的触发机制:当蒸汽膜厚度足够小时,会极易被加热表面的不平整突起贯穿,蒸汽... 相似文献
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过热蒸汽相变换热转变点温度求解方法的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究过热蒸汽相变换热转变点温度,对于过热蒸汽换热器的设计是非常必要的.过热蒸汽的相变换热转变点温度可以根据换热的具体条件,通过分析计算确定.据此可以判定过热蒸汽在换热器内具体的换热形式及过程.结合过热蒸汽不同换热过程及形式的具体特点,才能正确地进行换热器换热面的热工设计.本文给出了一种可利用计算机程序求解过热蒸汽相变换热转变点温度的新方法. 相似文献
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本文建立了线性菲涅尔式太阳能吸热/反应器光热–化学反应过程三维数值模型,并对其缩小模型进行了研究,探究了典型的外部因素(太阳能热流分布)和内部因素(催化剂颗粒半径)对系统流动换热与热化学反应综合性能的影响。首先,基于离散元法建立了催化剂颗粒随机堆积床模型。其次,基于蒙特卡罗光线追迹法与多目标优化遗传算法获得了太阳能热流分布。然后,对比了优化前的、优化后的以及理想情况下的系统综合性能,进一步分析了催化剂颗粒半径的影响。研究发现,热流优化后的系统化学反应性能接近于理想,而减小颗粒半径也可促进化学反应,但会增加流动阻力。催化剂颗粒大小的优选或可综合考虑反应程度、流动阻力和烧结温度限制等进行权衡选取。 相似文献