缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用

介绍了一种半导体专用设备用的缓存装置及其调度方法,此调度方法适用于晶圆的多种工艺加工过程,针对设备在晶圆传输过程中遇到模块故障或者模块超时问题,合理的启用缓存区工位将有受损风险的晶圆收纳到缓存区,并在故障消除后将晶圆恢复至正常工艺流程的方法。该系统方法最大限度地保护晶圆的安全,同时也为快速恢复正常加工提供了保障。     

2011年度《理化检验-化学分册》征订启事

《理化检验-化学分册》杂志创刊于1963年,系上海材料研究所与机械工程学会理化检验分会联合主办的技术类刊物。主要报道材料的化学分析与仪器分析专业领域中的新方法、新技术、新设备以及国内外的研究方向。面向生产、注     

四川大学研发出世界首款风冷型高性能激光诱导击穿-拉曼一体化光谱分析仪

由四川大学生命科学学院分析仪器研究中心段忆翔教授作为项目负责人,牵头承担的国家重大科学仪器设备开发专项又取得最新进展——"激光诱导击穿-拉曼光谱分析仪(LIBRAS)"首次亮相于2014年12月20日~21日的"激光光谱分析前沿技术国际研讨会"。     

《催化剂》杂志征订启事

《催化剂》杂志由中国氮肥工业协会、中国石化南化集团研究院主管,中国催化剂信息咨询网(http://www.ccicn.com.cn/)主办,2013年正式创刊。本刊报道方向为国内外催化剂科研、设计、制造、应用,相关配套设备设施技术进步与信息动态,以及中催网网站信息等。本刊主要栏目:研究与开发、分析与测试、专论与综述、应用与实践、技术讲座、论文文摘、催化专利等。报道内容为具有一定学术水平及应用价值的文献和反映催化剂领域的新技术、新成果、新工艺等方面的论述文章。     

如何写好中英文摘要

1.文摘应包含正文的要点。一般来说,文摘应包含研究对象(目的),研究方法(所用的设备、材料),结果与结论。2.文摘要尽量简短,尽可能删掉课题研究的背景信息。     

中性线修正型变截面梁类构件压电控制

传统绝对节点坐标法(absolute nodal coordinate formulation,ANCF)在变截面梁类构件建模过程中常以几何中位线等效构造单元中性线,难以对变截面单元位移场状态进行精确描述.为解决此类问题,本文以中细型变截面梁类构件为研究对象,深入考虑变截面结构几何因素及复合材料属性对变截面梁类构件中性...     

大型精密离心机光栅测角系统的设计与实现

对JML－1大型精密离心机主轴光栅测角系统的关键技术进行了研究,给出了如何解决光栅测角系统的精度问题。抗干扰问题和动态测角问题的设计方法及测试结果。     

利用加速度反馈的大型光电设备主轴控制技术

随着光电跟踪设备的大型化,在系统的惯量增大的同时,机械谐振频率一般会降低,此时控制系统的带宽设计将受到限制,而且大型的光电设备更容易受到风阻、地基振动等各种干扰的影响,从而降低系统的控制精度。由于惯性测量元件——加速度计直接感受被测对象的受力情况,通过引入加速度反馈控制回路,在不增大系统带宽的前提下,中低频段的扰动抑制传递函数幅值下降约25 dB。理论、仿真和实验三方面均验证了该控制方式的有效性。     

低复杂度放大转发多中继选择及功率分配

为了解决传统多中继选择协作通信网络算法复杂度高、资源利用率低等问题,本文提出了低复杂度放大转发多中继选择及其功率分配方案.它先利用修正的选择函数选择最优中继集合,再采用改进的低复杂度功率分配方案,对选择的中继集合功率分配.所提方案考虑到等功率分配时,分配功率应随中继数不同而改变,添加修正因子以充分利用功率资源.同时,所提功率分配避免了超越方程求解,极大降低了计算复杂度.仿真表明：当中断概率为10^-4时,所提方案相对于现有预选择单中继放大转发(pre-select Single relay Amplify-and-Forward,SAF)和全中继放大转发(All relay Amplify-and-Forward,AAF)方案,所需信噪比(Signal-to-Noise Ratio,SNR)分别降低约2.5 dB和5.3 dB.其性能与穷举法相当,二者所需SNR仅相差约0.01 dB.     

基于网络超链接信息熵的节点重要性序结构演化建模分析

动态复杂网络在时空演化过程中,网络节点重要性层内交互关系和层间耦合关系可以更为准确对时序网络节点序结构演化进行分析.本文提出基于网络超链接信息熵的节点重要性序结构演化模型.分析时序网络层内节点超链接信息熵重要性排序结果,得到时序网络节点相邻时间层与跨时间层节点重要性排序模型.节点超链接信息熵总结相邻时间层与跨时间层节点相似性耦合效应.通过SIR(Susceptible Infected Recovered)模型检验节点传播效率进行实证网络仿真,结果与经典时序网络模型相比,本文模型Kendall’sτ值在各时间层均有提高,最高为11.310%.