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己开发出一种利用光学移相、傅里叶交换和空间滤波技术,使基片上的对称图形与中间掩模上的移相图形套准的新型精密对准技术。这两个标记之间的对准是用检测基片对准标记反射光的零阶空间频率先强的最小值点来确定的。此最小值是因两对准标记共心时相位将完全抵消而形成的。所进行的理论分析知计算机模拟证明,这种技术不受对准标记图形线宽和台阶高度变化的影响,也不因制有对准标记的基片材料的光学特征变化而变化。初步实验结果与计算值相当一致。从而证明,这种技术不存在利用栅光图形和检测干涉条纹图像这些技术中所存在的模糊问题。现有结果表明,这种技术的套刻精度可优于0.1μm。 相似文献
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作者根据多相移相键控和正交移幅键控的调制解调器原理,说明其解调器存在的相位模糊度问题,然后提出解决的方法,杉差分编译码技术,并且说明其误码分析的方法。 相似文献
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目前,彩色电视机的工作电网一般可分为两类,交流110V和220V电网,尽管开关电源的工作范围很宽,但它不可能同时适用两种电网电源,为此设计了一种110V/220V电网自动转换装置,以拓宽其工作范围,满足出口贸易的需要。 相似文献