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研究了采用感应耦合等离子体-原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX-SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;60nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
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功率因数校正(PFC)技术能提高电源设备的电源利用率,减少谐波。文中介绍了功率因数的定义,功率因数校正技术及其应用实例。 相似文献
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为推动中欧伽利略计划技术合作,促进全球卫星导航(GNSS)应用技术的开发,中国科技部、欧洲空间局和伽利略联合执行体于2004年5月13-14日在中欧卫星导航技术培训合作中心共同举办了“中欧全球卫星导航应用技术研讨会”。伽利略联合执行体(GJU) 相似文献