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本文采用溶胶-凝胶技术制备LaFeO3纳米晶薄膜,并摸索出该薄膜的光刻方法,将这一成膜技术与集成电路平面工艺相结构,首次研制出了纳米晶薄膜作为栅极的场效应晶体管气体传感器,它对乙醇具有较高的灵敏度和良好的选择性。  相似文献   
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贵州航天纳米科技有限责任公司是一家以研制、生产、经营纳米碳素材料为主业的民营高科技企业。该公司以航天技术为依托云集了一大批长期从事材料、电化学、航天技术等行业的研究技术人员,已成功研制出具有国际先进水平的纳米石墨碳素材料系列产品。  相似文献   
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微机电系统(MEMS)是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术,实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。  相似文献   
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铸铝激光熔融处理后的组织与性能   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
朱祖昌  邱Qiu 《激光技术》1996,20(6):335-337
应用光学和电子显微镜及显微硬度计研究了铸造Al-Si合金经激光表面熔融处理后的组织和性能。指出,组织分熔化区、过度区和基体三层。在熔化区中树枝状先共晶α相的平均宽度由原始组织的20~40μm细化到2~3μm,同时共晶组织也被大大细化。这些变化使显微硬度值由67.4提高至109~115.  相似文献   
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采用阳极氧化腐蚀的方法制备了多孔硅(PS),这种PS的微结构为纳米量级的,并具有光致发光特性,这无疑将对全硅光电子学的发展具有很大意义。根据大量实验与理论分析,提出了这种PS发光的物理机制:纳米量子限制效应和表面态及其物质在发光中的作用,从量子力学的薛定锷方程出发,用沟道势阱的近似模型,推导得到进入量子线的电子和空穴的能量势垒,PS的有效带宽E=E_0+ΔE,对于Si(E_0=1.12ev)。完美地解释了目前在PS研究中的PL谱的篮移现象。  相似文献   
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