精密定位光栅尺的研究进展

本文主要简述光栅尺的最新发展历程。介绍了光栅尺的结构和测量原理以及光栅尺的分类和应用,讨论了光栅尺发展所面临的测量精度、信号处理及栅距细分、光栅的参考标记和绝对坐标以及光栅的载体和热性能等关键问题,并指出了光栅尺未来良好的发展趋势。     

精密转台在平面度检测中的应用

介绍了一种使用精密转台,千分表,0级平尺,光电自准直仪测量非连续平面零件平面度的方法。用该方法测量了一件直径Ф2310mm的非连续平面零件并给出其数据处理方法和测量结果。对这种测量方法进行了测量不确定度分析其结果为5μm。     

激光精密切割不锈钢薄板的工艺研究

采用Nd∶YAG脉冲激光器对不锈钢进行了精密切割。系统研究了工艺参数对切缝宽度和切缝质量的影响规律。结果表明,缝宽随激光功率密度、频率以及脉宽的增加而加大;提高激光输出重复频率,不仅有利于提高加工质量,而且可以增大切割速度,提高加工效率。在此基础上,导出了光斑重叠度和极限切割速度的计算公式,利用此公式估算的脉冲激光切割的极限速度与实验结果符合很好     

中间镜式半导体可饱和吸收镜实现Nd:YVO4被动锁模

中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心研究成功新型中间镜类型的1μm波长半导体可饱和吸收镜，在清华大学精密测试技术及仪器实验室成功地实现了Nd：YVO4被动锁模，获得了皮秒脉冲激光，由于缺乏合适的测试条件，脉冲宽度还未测试出来，估计在100ps以内。     

激光调阻机

激光调阻机是片式电阻生产线上必不可少的一种高技术设备,它涉及光学、精密机械、计算机控制、精密检测等多种技术领域。其功能是对片式电阻的阻值进行修整,使批量生产的片式电阻达到高的阻值精度。工作原理是把激光器输出的脉冲激光束聚焦成很小的光点,达到适当的能量密度,     

华力创通开发出HwaNavChip-1

近日,华力创通公司成功开发出具有完全自主知识产权的北斗/GPS多频精密导航基带芯片"HwaNavChip-1",该款芯片能够同时接收"北斗二号"系统B1和B3频点以及GPS系统L1频点,实现多系统组合导航定位和授时功能。"HwaNavChip-1"芯片具有的多频双系统、北斗精密码、高动态等先进特性,彻底摆脱了以GPS为主的国外导航系统对我国的垄断,填补了我国卫星导航自主芯片在国防领域应用的空白,突破了国外对我国国防领域使用的高     

高速精密运动平台研制

根据生瓷带打孔机对运动平台的特殊要求,设计了高速精密运动平台方案,分别从高刚度机械结构、直线电机及同步控制、运动误差补偿等三个方面详细阐述了具体的实施方案及解决措施,并采用三种方法对平台的性能进行了验证.通过验证证明,平台达到很高的加速度和定位精度,达到了平台设计的预期目标.     

基于纵模拍频控制的激光稳频技术

介绍了一种新的双纵模激光稳频技术:基于激光频率与纵模频率间隔的对应关系,通过精密锁相控制技术将两相邻纵模的拍频频率锁定在射频频率标准上,以控制激光谐振腔腔长,实现锁定激光频率的目的.理论分析表明,激光频率稳定度与两相邻纵模拍频频率的稳定度相同;实验上以射频频率标准为参考,精密锁定了He-Ne激光两相邻纵模的拍频频率及激光频率,且对采用该技术稳频的两套He-Ne激光系统进行了比对.实验结果表明,激光频率的稳定度为5×10-10(1 s积分时间),5×10-11(100 s积分时间).     

高精密微小零件尺寸合理性的图像校对方法研究分析

图像测量方法具有非接触性、信息量丰富、动态范围大等一系列优点,成为易变形零件尺寸、零件孔心距等自动测量常用的手段。在此详细介绍基于CCD图像高精密微小零件尺寸检测系统,提出采用数字图像技术对微小零件尺寸实施非接触性测量法,主要由图像采集、二值化、边缘检测、软件设计等组成,从而获得被检测物体精确的参数值,并通过微小齿轮中心孔直径这一实例验证图像检测方法准确性和可行性。     

光刻机超精密工件台研究

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究熏所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统。介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12nm