Design and Fabrication of Hybrid Piezomotor Applied in Precision Positioning Devices

The motor＇s configuration is designed and the dynamic analysis equations based on its simplified model are deduced. A testing system utilizing grating is set up to test this new motor, and the theoretical movement principle for the motor is proved by experiments. The pulse waveforms are applied to drive the motor to move in steps. The motor has a displacement resolution of 10 nm and a maximum velocity of 0.6 mm/ s. It can drive a 200 g slider whose range is 20 mm. A one-dimensional precision positioning platform is fabricated by using the new hybrid piezoelectric motor. The prototype is made up of two servomotors and two piezoelectric motors, which are controlled automatically by a computer. The positioning range of the platform is 10 cm.     

ULSI硅衬底化学机械研磨技术研究

通过对传统硅片研磨加工工艺过程中的问题进行深入研究和分析,总结了影响硅片表面质量的主要影响因素,提出了将化学机械平整化技术应用到ULSI硅衬底研磨加工的新方法,在研磨加工过程中减少强烈的、单一的机械作用,增加化学作用.通过实验研究得出了研磨速率提高20%,表面粗糙度降低,有效地降低了硅片表面损伤.     

广电机房精密空调的选配

本文主要介绍机房专用恒温、恒湿精密空调的特点,以及如何根据广电机房的实际情况选择空调容量、送风方式和冷却方式等,使机房环境达到现代化的广电机房要求。     

汉高电子部：为半导体封装和线路板组装提供全面的电子材料解决方案

1969年罗门哈斯公司进入半导体平坦化和抛光产品的研发。如今，电子材料作为罗门哈斯业务的重要组成部分，包括了化学机械研磨技术，微电子技术，电路板技术、电子构装与表面处理技术以及平板显示技术五大业务部门。     

铁心切割对静电悬浮用方波变压器性能影响的研究

高压变压器是静电悬浮系统的关键元件之一.微晶合金C型铁心的采用使方波变压器的制作工艺变得简便,但铁心截面的切割质量和装配工艺对变压器的性能有着很大影响.该文从理论和实验两方面对这种影响进行了研究,提出了采用细砂纸手工研磨铁心截面的办法改善变压器的性能.测试表明,铁心研磨后变压器的静态功耗降低57.6%,通频带拓宽29%,出力系数提高8%.结果表明,铁心研磨的措施能够显著减小铁心切割对变压器性能的影响,这对于变压器的设计和性能优化具有重要参考价值.     

精密高压电源介绍

精密高压电源主要用于为高精度光电倍增管直流供电。仪器采用它激式高频直流变换原理，采用大幅度高稳定电压基准、高增益比较放大器、大功率V-MOS管做功放、电感和电容双蘑滤波电路以及一系列补偿措施，输出电压宽范围连续可调，具有较高的稳定性，消除了振荡和开机过冲。输出电压300-3000V，输出电流4～10mA，输出电压稳定度好于0．1％，     

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概述国内外机床制造业的发展趋势，并就机床材料和构件所面临的基础研究问题进行了 阐述. 重点介绍机床中的材料和结构演变发展，概括了轻质材料和结构在机床行 业的研究现状，讨论并展望面向高档精密数控机床应用的轻质材料和结构研究发展趋势.     

组元段精密安装过程分析

数十米长的直线感应加速器由几十个组元连接组成,每四个组元和一个多功能腔为一段,共用一个精密调节支架,调节支架结构和组元间安装方式对同轴度有非常大的影响\[1\]。利用ANSYS软件对加速器组元安装进行了有限元分析计算,计算模型中主要考虑了在重力、螺栓预紧力和螺母与法兰面的摩擦力的作用下加速器组元的位移和变形,并对在装配过程中导致同轴度变化的影响因素进行分析,得出了今后装配和设计中要遵循的规律。     

玻璃光学元件精密模压成形技术

介绍了玻璃光学元件精密模压成形技术的原理、玻璃材料、模具制造、模具表面镀膜、结合有限元仿真的模压工艺优化和模压成形设备等核心技术的研究进展,并讨论了当前存在的问题。通过探讨玻璃模压成形技术在自由曲面、微结构、衍射结构表面和晶圆阵列等光学元件中的应用现状,对玻璃元件精密模压成形技术的发展趋势和挑战进行了展望。     

金刚石复合折射透镜的设计及加工初探

复合折射透镜（compound refractive lens, CRL）因具有结构紧凑、焦距可调、准直方便等优点,被用作硬X射线自由电子激光（X-ray free electron laser, XFEL）装置的光束聚焦器件。面向XFEL光束高精度聚焦对高性能CRL的实际需求,从CRL的几何结构设计原理出发,分析了不同材料CRL的性能参数,证明了单晶金刚石材料是适用于XFEL光束聚焦的CRL优选材料。同时,考虑超硬金刚石材料的难加工特性以及低重频钛宝石飞秒激光不能实现大厚度材料高效加工的实际问题,探索了高重频光纤飞秒激光对大厚度单晶金刚石材料进行高效加工的可行性。研究结果表明,高重频飞秒激光精密加工技术是实现金刚石CRL制备的有效手段。