紫外激光切割晶圆的工艺研究

通过实验研究了紫外激光切割晶圆的工艺,测得不同激光功率和切割速度下的切割深度和切缝宽度,分析了各参数对切割深度及切割质量的影响,对存在的问题提出了改进的意见及方法,为实际应用中参数的选择和工艺的改进提供了参考.并依用户要求对晶圆样品进行实际切割,经用户鉴定达到了使用要求.     

雷达T/R组件的精密清洗技术

雷达T／R组件具有很高的可靠性要求,但制造过程中难免在T／R组件内部会留下一些残留物,诸如焊剂残留、焊锡球和灰尘颗粒等,对T／R组件的可靠性造成潜在威胁。介绍了高频扫频超声波清洗技术、兆声波清洗技术、汽相清洗技术和等离子体清洗技术在T／R组件制造过程中的应用,并且指出这些清洗技术对提高T／R组件的可靠性具有很重要的作用。     

大口径光学元件的精密检测技术

随着光学元件口径的增大,光学系统对精度的要求提高,传统干涉仪检测手段已经不再满足要求.为了提高制造效率,需要适当的在线检测技术和多工段检测手段.结合现阶段系统研制的需要,介绍了子孔径拼接干涉榆测技术、数字刀口检测技术以及红外干涉检测技术,分别对其基本原理和具体应用进行了分析.     

艾默生网络能源助力广东电信

艾默生网络能源日前在广东电信C网核心网动力系统所引进的网络能源产品中,有95％是来自艾默生网络能源,它在产品性能及服务等方面全面满足广东电信的要求。在该项目中,根据各地市分公司的实际需求,广东电信将艾默生网络能源通信电源、UPS和精密空调等设备部署在各分公司C网核心网机房内。具体而言,NetSure 801系列电源系统是艾默生网络能源集多年开发和网上运行经验推出的新一代大容量通信电源系统。     

Assessment method of numerical integration used in measuring profile based on ultra-precise thin light beam scanning

In order to improve the precision of profile measurement based on ultra-precise thin light beam scanning, an assessment method that compares different numerical integration algorithms in frequency-domain is put forward. The compared numerical integration methods are regarded as recursive digital filters. Through comparing their functions of frequency response in frequency-domain, the delivering role of noise with different frequencies can be analyzed directly and clearly in the process of integrating measured slope data. Analyzing results show that the method of cubic spline is better than trapezoidal, Simpson and 3/8 Simpson rules.     

高分子材料的应力诱导反应

本文是作者所在科学研究群体借助超声波、高速搅拌、微波和研磨应力诱导反应制备一些难以用一般方法合成的嵌段／接枝共聚物和高分子纳米材料,探索高分子材料高性能化高效途径等方面研究工作简介。     

基于莫尔信号的精密位移测量与控制的研究

应用光衍射理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统,建立了衍射莫尔信号与对应位移的数学模型,并通过计算机仿真对莫尔信号的位移特性进行了研究。在此基础上构建了一套精密位移测量与控制装置,取差动零次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位移检测及全自动精密定位。实验结果表明,基于激光莫尔信号的精密检测与控制装置可获得得5nm的位移分辨率及±0.4μm的定位精度。     

负载电阻及其对称性对光位敏器线性及精度的影响

通过对一维光位敏器（PSD）等效电路的分析,得出与具体系统无关的光位移普遍表达式。该式表明,负载电阻对于PSD内阻的比值及两边负载电阻的不对称性将极大地影响测量的线性及精确度,而PSD内阻随光源光强有数量级的变化,因此一般的光位移公式在用强光源（如激光）时应加以修正。     

光纤连接器端面的超声/机械复合研磨

介绍了一种引入超声波研磨光纤连接器的新型研磨方式。对这种实验装置进行了简单的介绍,并将这种研磨的结果和普通研磨的结果进行了对比和分析,结果表明这种研磨方式的研磨效率比普通研磨提高了4～8倍,平均表面粗糙度〈3nm．平均回波损耗〈-60dB,平均插入损耗〈0．1dB。     

蓝宝石光纤探针传感器探针研制工艺及传光测试

在分析比较传统光纤探针研制工艺特点的基础上认为其不适用于蓝宝石光纤,因此提出了基于研磨抛光系统的光纤探针制备工艺。介绍了研磨系统的组成及运作方式,阐述了光纤探针制备过程中研磨抛光与固化的主要流程。最后使用光学仿真软件Zemax进行了光纤探针传输效率的仿真测试,仿真结果表明采用940nm波段光源及"面对面"探头安置方式时光纤探针传输效率最高。可应用于蓝宝石光纤探针传感器系统的搭建。