SiC单晶片的取向研磨

优质晶体生长常常需要籽晶或衬底偏离常规结晶取向.为便于按任意偏向角度研磨晶片,本实验室设计并应用了晶片取向研磨夹具及相应的研磨工艺.本文介绍了该夹具和工艺的工作原理、技术要点以及对技术指标的鉴定情况.测试结果表明,研磨取向误差范围可控制在5;之内,研磨片厚度偏差小于5 μm、粗糙度Ra=0.12 μm.     

大型精密离心机光栅测角系统的设计与实现

对JML－1大型精密离心机主轴光栅测角系统的关键技术进行了研究,给出了如何解决光栅测角系统的精度问题。抗干扰问题和动态测角问题的设计方法及测试结果。     

基于中频数字化的导航精密测距信号处理

简要叙述了导航精密测距的基本原理,提出了基于中频数字化的导航精密测距信号处理方案,介绍了各个处理单元的原理及功能并给出了实现方法和仿真结果.     

ZnAl_2O_4纳米颗粒的固相合成及其机理研究

结合机械力化学与声化学反应,固相合成尖晶石型Zn Al_2O_4纳米颗粒。借助于X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM),分析样品的表面形貌、晶体结构、化学成分及反应过程。研究结果表明:振动研磨2 h后,Al颗粒尺寸大约为0.5μm,颗粒内部存在大量的位错缺陷,有利于机械力化学反应。将研磨后的Al颗粒超声水解3 h制备出Al(OH)_3白色乳胶液,经干燥、焙烧后得到多孔、片状、活性γ-Al_2O_3纳米颗粒,颗粒尺寸分布在30~150 nm之间。将Zn O/γ-Al_2O_3固相合成制备出尖晶石型Zn Al_2O_4纳米颗粒,在温度为200~600℃范围内,Zn O/γ-Al_2O_3完成了晶核成型、晶体生长和颗粒成型过程,600℃时颗粒尺寸为30~50 nm,且具有良好的分散性。随着温度升高,颗粒尺寸增大,结晶度提高。     

双压电片振子精密载物工作台研究

利用两端固支的双压电晶片在电场作用下可弯曲变形,且有中心区域变形量大的特点,并研制了一种简单的基于粘-滑(stick-slip)原理的步进式载物工作台实验装置。该装置结构简单,可在工作平面实现二维移动。进一步分析了该装置的结构特点和作用机理,并进行了初步实验研究。通过实验测试表明,此装置具有较好的承载能力和运动稳定性,可望在位移分辨率为微米、亚微米级但方向性要求不高的场合作为载物台使用,如在显微镜下观测样本、运送微小零部件至装配线等。     

变频器在精密挤出机械上的应用

本文介绍安邦信G11变频器在精密挤出机械上的应用，讨论了精密挤出机械的系统要求及安邦信G11变频器在精密挤出机械上的良好性能。     

利用超声振动研磨加工玻璃

超声研磨是令人感兴趣的一种玻璃加工方法,与金刚石刀具加工相比,它有一系列的优点.首先,基于它有仿形处理特性,能够加工出任意下凹的形状.对材料的损害特小,因为它与普通的研磨不同,不是用化合的研磨粒作为加工介质,而是采用松散的研磨粒粉.这种方法的特点,是能让用户在小于1mm的直径内制成凹形,并可加工薄的基质(<200μm).     

"佳力图"精密空调P66调速模块的原理分析及故障维修

"佳力图"系列高精密度专用空调机是加拿大佳力图国际有限公司针对通信机房和电子机房对环境的严格要求,专业设计和生产的按键式精密空调设备.     

超光滑表面加工方法的新进展

通过回顾超光滑表面加工技术的发展历程,对多种具有代表性的超光滑表面加工方法的原理和应用作了简单阐述,并重点提出和介绍了一种大气等离子体抛光方法。该方法实现了利用常压等离子体激发化学反应来完成超光滑表面的无损伤抛光加工,并首次引入电容耦合式炬型等离子体源,为高质量光学表面的加工提供了一条新的途径。试验结果表明,在针对单晶硅的加工过程中实现了1μm/min的加工速率和Ra 0.6nm的表面粗糙度。