表面等离子共振传感器的原理与进展

表面等离子共振光谱(Surface Plasmon Resonance,SPR)是近年来得到快速发展的一门技术。它是一种无标记的、可用于实时定量检测某些固定于传感芯片上的组分与被结合物种间的绑定亲合度(binding affinity)、且可用于对相对小量物质进行检测的重要手段。由于它可方便地研究不同生物或化学物种的有关反应与动力学问题,因此具有重要的实用意义,受到广泛关注和重视。本文对有关等离子共振现象的形成及其作为敏感检测手段的机制、原理和改进等问题作了简要的介绍。     

基于耦合T型空腔的多重法诺共振现象

提出由T型空腔和挡板组成的两种金属-电介质-金属(MIM)波导结构,分别为:正T型空腔结构和倒T型空腔结构,并应用有限元法系统地研究了该结构的透射特性.对于正T型空腔结构,仿真结果出现了双重法诺共振现象,并且共振波长可以通过改变T型空腔长度和高度进行调节.该结构有助于设计成敏感度达到1 620nm/RIU、品质因数为5.4×10~4的纳米传感器.对于倒置T型空腔,在波导中产生了多重法诺共振现象,其敏感度可达1 560nm/RIU,品质因数为9.37×104.该结构有望在光学集成回路,特别是纳米传感器、光束分路器方面具有广泛应用.     

冷等离子通过单一元件组成

冷大气压等离子可为诸多工业和医疗应用带来决定性的优势。凭借新型爱普科斯（EPCOS）CeraPlas~（TM）产品,TDK提供了一种比传统技术更紧凑、更易于集成、更高效的等离子发电器。各行各业对冷等离子技术的兴趣与日俱增。借助这种技术,人们不仅可以运用多种方式来改进材料表面属性并不会导致损伤,而且还可以用来对表面和空间进行清洁和消毒。作为四种基本的物质状态之一,等离子通过电离空气或气体来形成。     

氧气等离子处理对MIM结构ZrAlO薄膜电容性能的影响

探讨了氧气等离子处理法对基于Zr Al O薄膜的MIM结构电容电学性能的低温工艺优化。Zr Al O薄膜用射频磁控溅射法制得,之后在不改变真空条件的情况下进行Zr Al O薄膜的氧气等离子处理。氧空位是影响薄膜电容性能的主要因素,通过改变氧气流量和等离子功率等处理条件可以影响氧空位的分布状态。通过分析受氧空位影响的电容电学性能,最终确定的等离子处理工艺可以使薄膜漏电流降低三个数量级以上,同时非线性电压系数减小约60%。     

陶瓷表面状态对底部填充胶流动性影响研究

由于陶瓷外壳表面会做氧化铝涂层,这种处理会对底部填充胶的扩散性能造成影响。研究了底部填充胶在不同表面状态的陶瓷外壳上的扩散状态。这对底部填充工艺的发展具有重要的意义。     

英诺推出耐等离子辐照的聚酰亚胺高功能塑料

正英诺(上海)工程塑料有限公司向微电子行业客户推出一款牌号为"N-140"的聚酰亚胺(PI)材料。该款材料耐等离子气体辐照,综合性能优良,可满足半导体制造工序中对原材料的苛刻要求。经过改良配方后的N-140牌号聚酰亚胺具有更好的耐等离子辐射及耐高温性能;在等离子气体腐蚀下更低的分解性,对晶圆造成的污染更小;其他性能如强度、绝缘性、耐磨性亦有不错的表现。这款材料主要用在半导体前工序干法刻蚀领域及一些高端设备上的零配件;现已批量应用在国内的大型FAB企业及先进的半     

应用于硅基等离子天线的横向PIN二极管的研究

介绍了横向PIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,用一维理论分析了载流子大注入情况下横向PIN二极管本征区载流子浓度分布.对横向PIN二极管进行了物理建模,仿真分析了本征区长度、二氧化硅埋层、电极长度、结区掺杂浓度及表面电荷对横向PIN二极管本征区载流子浓度的影响,总结了横向PIN二极管的一般设计规则.     

基于并行FDTD方法分析表面等离子波导的特性

设计了一种双L形表面等离子体矩形环谐振器波导,采用并行时域有限差分方法,对这种波导的传输特性随几何结构参数的依赖关系进行了分析.计算结果表明通过改变输入/输出光波导的结构参数,可以调节该波导的消光比和频率选择特性.该波导结构能够有效地抑制后向辐射干扰并且大幅度地提高其场消光比,这使得此类谐振器结构更具有功能性.     

水解工艺Yb3＋/Al3＋共掺石英玻璃的研制及特性表征

利用四氯化硅(SiCl₄)水解掺杂法结合高 频等离子体粉末熔融技术制备了Yb3＋/Al3＋共掺石英玻璃,并利用 X射 线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱分析和热膨胀分析等对所制备玻璃样品的结 构特性、物理特性和光谱特 性进行了表征。结果表明,制备的Yb3＋/Al3＋共掺石英玻璃的密度和折 射率值与纯石英玻璃相接近,并且呈现出 较好的玻璃态,其热膨胀系数为2.87×10－6,具有较好的Yb3＋和Al 3＋掺杂均匀性,以及Yb3＋典型的吸 收特性和发射特性,表明采用本文方法制备的Yb3＋/Al3＋共掺石英玻璃 已具备成为大功率激光材料的潜质。