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GaAs器件工艺中等离子刻蚀及计算机辅助监控技术研究 总被引:2,自引:1,他引:1
陈正明 《固体电子学研究与进展》1994,14(2):182-185
用N2气和NF3反应气体,在较低的刻蚀功率下实现了用薄正性光刻胶AZ1518作掩模,均匀、快速刻蚀SiO2,SiON,Si3N4,WN,W等材料的等离子刻蚀技术。利用到蚀过程中射频参数的变化和计算机技术,将射频参数的变化在计算机屏幕上实时显示,实现了计算机辅助监控和终点检测技术。 相似文献
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8051系列是Intel公司生产的高性能8个单片机,但本身并不支持多道程序设计,本文讨论了支持多道程序设计的终端卡软硬件设计中的有关问题及相应解决方案。 相似文献
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详细分析了扩谱系统中信噪比与带宽的转换关系,实际系统的阈值效应及干扰容限,论述了解扩处理增益G与干扰种类的关系。 相似文献
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文章在阐述国内几种胃电图仪存在问题的同时,主要在PC系列上直接垢4道胃电检测系统的设计思想和系统构成,该系统数据处理方法先进,使医生可获得更多的诊断信息。 相似文献
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相对于频分多址(FDMA)和时分多址(TDMA)等多址技术而言,码分多址(CDMA)具有一系列的优点,这使得CDMA技术在移动通信领域中越来越重要,已经成为新一代移动通信中主要的无线多址技术。但目前还有许多关键技术需要解决,其中限制CDMA技术性能的关键问题是多址干扰,而解决这一问题的主要方法是多用户检测技术。 相似文献
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前不久,中国联合通信公司(以下简称中国联通)在基于IS—95A增强型技术的第一代CDMA网络的基础上顺利完成了基于CDMA2000 1X移动通信技术的第二代CDMA网络的升级工作同时迅速推出了与之相关的数据业务服务“联通无限”。至此以国内第二大移动通信运营商中国联通为主导的CDMA网络实现了成功升级并正式投入商业运营同时这也标志着中国的移动通信网络正式开始向3G迈进。而与之密切相关的CDMA2000 1X技术也由此成为人们关注的热点。CDMA2000 1X通信技术究竟是一项怎样的技术?它有哪些独特的过人之处?本期数码学堂就将为您讲述有关CDMA2000 1X的故事。 相似文献
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