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51.
微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信   总被引:1,自引:0,他引:1  
硅微机械技术是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微/纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说,是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而,这种结构并不是集成电路,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面,微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件,如数据调制器,可变襄减器、光开关、主动均衡器、插/分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源,有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。  相似文献   
52.
较高功率等级和较高光束质量的结合是推动激光工业加工发展的真正因素。传统的Nd:YAG棒状激光器因其热透镜效应的限制很难实现这一目标。用二极管取代灯泵浦能减少热透镜效应,但光束质量在大功率下仍受到限制。Trumpf公司最近研制成功了一种能够解决  相似文献   
53.
Robert J.Mears是用于宽带互联网的铒掺杂光纤放大器(EDFA)的发明者。他在寻找将光器件和波导结合到硅中的方法时,发现了一个有趣的结果:一种特殊的硅超晶格结构可以加速某一个  相似文献   
54.
Hydrogen-free silicon nitride (SiNx) films were deposited at room temperature by microwave electron cyclotron resonance (MW-ECR) plasma enhanced unbalance magnetron sputtering system. Both Fourier-transform infrared spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy are used to study the bonding type and the change of bonding structures of the silicon nitride films. The results indicate that the chemical structure and composition of SiNx films deposited by this technique depend strongly on the N2 flow rates, the stoichiometric SiNx film, which has the highest hardness of 22.9 GPa, could be obtained at lower N2 flow rate of 4 sccm.  相似文献   
55.
We present a compact improved model of the magnetically insulated line oscillator with new-type beam dump and other novel features. In the experiments, high-power microwave of the TM01 mode is generated from the device with a frequency range of 1.73-1.78 GHz and a peak power level of above 2 GW, when the diode voltage is taken in the range 520-540kV, and the diode current is in the range 58-62kA. This confirms the simulation results.  相似文献   
56.
“神龙一号”注入器研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
“神龙一号”注入器是直线感应加速器的束流源,它采用了感应叠加的高压加载方式,包括脉冲功率系统、感应腔、阴阳极杆、绝缘支撑、二极管和束流传输系统等子系统. 在研制中采用了径向绝缘支撑、对中支撑调节系统、类Pierce阴极等先进技术,以及二极管线圈内置和外径为800mm的铁氧体大环等创新. 参数测试显示,3.5MeV注入器达到了世界先进水平.  相似文献   
57.
《微纳电子技术》2006,43(3):134-134
为了避免纳米压印光刻技术与光刻技术混淆,纳米压印光刻技术严谨的专业术语定义是:不使用光线或者辐射使光刻胶感光成形,而是直接在硅衬底或者其他衬底上利用物理学机理构造纳米级别的图形。这种纳米成像技术真正地实现了纳米级别的图形印制。  相似文献   
58.
二极管泵浦固体激光器(DPL)具有寿命长、热负载小、结构紧凑等优点,在工业加工、军事、通讯等领域都得到了广泛的应用。在高光束质量、高平均功率DPL激光器的研究中,目前普遍采用MOPA结构的光路布局——由谐振腔产生出低功率的单横模激光输出,经多路放大后达到满足需求的功率水平。而激光放大模块作为放大光路中的核心部件,其增益分布特性将直接影响到光束放大过程中的波前变化,因此如何在提高激光放大模块储能的同时提高模块增益分布的均匀性,从而减少光路放大过程的波前畸变,对于进一步研制高平均功率、高光束质量的半导体泵浦固体激光器具有非常重要的意义。  相似文献   
59.
《中国电子商情》2006,(7):82-82
Silicon Laboratories日前针对以太网络用电装置(Powered Device,PD)应用推出业界最高集成度的IEEE802.3af以太网络供电(Powerover Ethernet,PoE)控制器。Si3400是唯一内置二极管桥式电路(diode bridge)、瞬时突波抑制电路和开关稳压器FET晶体管的PD控制器。Si3400控制器的高集成度大幅减少元器件用料和电路板面积,  相似文献   
60.
消费者对于移动多媒体的需求是毫无疑问的,满足这些需求的技术已经开发成功,对于设计人员而言,剩下的问题就是如何利用这些技术,并将成功的产品带入市场。本文将讨论如何减省移动多媒体设备内关键元件的功耗,此外也会对现今移动多媒体设备设计人员所面对的工程挑战作出概括的分析,并就目前及新涌现的硅技术,提出可克服这些工程挑战的解决方案。  相似文献   
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