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871.
研究了采用单靶控溅射在Si(100)衬底上生长YSZ(钇稳定的ZrO2)BSCCO(铋锶钙铜氧)薄膜的工艺条件,包括生长温度,生长气氛,生长速率及氧化退化等。还研究了高温超导相的形成与生长温度的关系,并获得了超导膜临界温度为82K的BSCCO/YSZ/Si兼容材料。 相似文献
872.
873.
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统。 相似文献
874.
从玻尔-索末菲量子化条件出发,以抛物线势阱为模型,建立了硅MOS结构表面反型层中二维电子气能级E满足的超越方程,并从该方程得到了能级E的解析表达式。该式能够非常简单地确定出抛物线型势阱中的能级,而不需要数值求解薛定谔方程。 相似文献
875.
针对海上风电基建期和运维期对通信的差异化需求,分析了卫星、4G/5G、微波通信的技术特点,提出了一种微波与4G技术融合组网的无线通信方案.在基建期利用微波通信技术传输监控信息,利用船载4G和微波技术传输话务信息,在运维期利用4G和微波技术传输监控、话务信息.最后分别对基建期和运维期方案所需的设备及服务进行了系统配置,不... 相似文献
876.
MEMS THz滤波器的制作工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。 相似文献
877.
合成了七(2,3-二-O-乙酰基-6-O-叔丁基二甲基硅烷基)-β-环糊精,并采用静态法成功地将其涂渍到弹性石英毛细管柱上。研究了其气相色谱分离性能,发现此固定相涂渍性好,柱效较高,热稳定性好,对卤代芳烃异构体以及难分离的二取代苯的位置异构体具有良好的分离能力。 相似文献
878.
879.
880.