用于传感器和执行器封装的键合技术

本文简要介绍了用于传感器和执行器封装的硅一硅键合,硅一玻璃阳极键合及基于表面修饰工艺的选择键盒技术;讨论了如何消除键合晶片之间空隙的方法。     

应用LiNbO_3声表面波驱动的全光纤声光频移器

介绍一种工作在10.7MHz的全光纤声光频移器.它由在LiNbO_3基片上制作的叉指电极换能器产生的声表面波驱动.当驱动电功率1.5W时,频移光转换效率达35％.     

光激励和光检测微型硅谐振器研究

分析了光激励谐振器振动的检测问题，用调制激光束激励谐振器使其发生振动，并采用光学干涉的方法测量了这种微振动。     

集成pH－ISFET／压力传感器的研究

基于ＳＤＢ／ＳＯＩ材料和硅微机械加工技术，提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ／压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统，以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离，又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。     

光纤传感器的标定曲线拟合与误差分析

本文介绍了一种求取实际光纤传感器标定曲线及函数的有效方法。以压电式光纤电压传感器实测数据为例，详细患解出了其标定函数和曲线，并进行了误差分析。     

光导纤维在钢筋混凝土土木工程中的应用

本文介绍了光导纤维在土木工程的应用前景和概况，讲述了光纤在钢筋混凝土中的埋入技术及其在房屋建筑、桥梁工程和坝体中的具体应用，以及我们在这一领域的研究成果。     

微机在应变测量中的应用

微机在应变测量中的应用，采用上位机和下位机组合方式．上位机为一台ＩＢＭ－ＰＣ／ＸＴ微机，用于对数据进行后处理．下位机以Ｚ８０－ＣＰＵ为控制器，由传感器、转换器、接口及外设等组成数据采集器，实施对应变、压力和位移等参数的采集、显示和打印（即数据的预处理）．上位机和下位机之间的数据传输，采用串行的方式，通过ＲＳ－２３２接口完成．本文主要以应变的采集处理为例，介绍系统功能、硬件配置及软件设计．     

陶瓷传感器的微型化与集成化

本文主要介绍陶瓷传感器在微型化及集成化方面的进展；指出了集成化多功能传感器存在的技术问题及未来发展趋势。