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122.
硅单晶作为半导体材料具有优良的特性,它是一种硬度、拉伸强度和杨氏模量较大、机械性能也较好的材料.半导体工艺技术在硅单晶材料中可以充分发挥作用.因此,在硅单晶基板上利用微机械技术作成三维结构,试图把它作为坚固的机械结构与器件组合在一起使用. 相似文献
123.
TUYaping HUANGShanglian 《半导体光子学与技术》1996,2(2):146-149
A suitable fiberoptic sensing array embedded in the smart structure to monitor quasi-distrbuted froces on the structrue in presented in this paper.Artificial neural networks are used in processing of fiberoptic sensing array signals.Fundamental experiments have been done and the results are also given. 相似文献
124.
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本文综述了集成气体传感器的发展过程的工作机理,讨论了Schottky气敏二极管、MOS气敏二极管、MOS气敏场效应厚膜集成气体传感器和集成气体传感器阵列。 相似文献
126.
XTR101通用变送器 总被引:2,自引:0,他引:2
XTR101是美国BB公司(BURR-BROW)开发的4~20mA两线制变送器微型电路,它具有良好的仪表放大器输入特性,它的低失调电压最大仅30μV,它的低电压漂移最大仅0.75μV/℃,是一个真正的两线制工作电路。它是一个用途广泛的通用型传感器接口电路,适用于温度、压力、称重、位置等传感器的信号变换。 相似文献
127.
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加拿大DALSA公司的Dobson等人于1994年发表了他们对出现在机载侦察中的典型高速扫描(130001/s)最佳化的一个2048×96 TDI(延时积分)CCD成像传感器的设计.该成像传感器包括一个成像面积大小的选择机构,其与TDI结构一起使传感器响应扩展到一个宽入射光强度范围.在机载侦察中存在的高信号强度,输出信号的动态范围受图像散粒噪声限制而不是受装置噪声限制.像素间距为13μm,给出传感器极好的空间分辨.传感器在尼奎斯特(Nyquist)频率的调制传递函数(MTF)为50%.为减少成像滞后,该器件采用NMOS工艺利用三个多晶硅层和埋置CCD寄存器制造. 相似文献
129.
介绍了谐振式力传感器的工作原理,并从理论上和实验上对中科院合肥智能所研制的第一代微型硅谐振梁(3×0.4×0.045mm^3)式测力传感器进行了全面的振动分析,所得结构为其进一步优化设计提供了科学根据,文中使用的实验分析方法,为其它微小物体的动态和识别提供了一条有效途径。 相似文献
130.
过去几年中,湿度传感器价格基本上是稳定的。由于原材料成本继续平稳、市场需求强劲、技术创新不多,因此亚洲和美国的制造商排除了今年湿度传感器价格上涨的可能性。 相似文献