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Co-Si多层膜在稳态热退火中的固相界面反应 总被引:1,自引:1,他引:0
超高真空条件下,采用电子束蒸发工艺在Si(111)衬底上交替蒸镀200A的Co和Si薄膜形成多层膜结构,在恒温炉中作稳态热退火,然后用XRD、RBS及AES等技术作分析,研究了Co-Si多层膜固相反应的相序,用四探针测量了反应生成的钴硅化物的电阻率。结果表明,随着退火温度的升高,淀积在Si(111)上的Co膜逐步转化为Co_2Si、CoSi和CoSi_2,最后完全转化为CoSi_2。在比单层膜低得多的温度下退火获得了电阻率较低、表面形态良好、晶粒很大的CoSi_2薄膜材料。 相似文献
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海洋是个特殊的环境,为许多光纤传感器提供了一个极好的应用领域。对于海洋这个特殊的“敌对”环境,光纤传感器将面临许多挑战。 本文着重介绍应用于海水温度、浊度、盐份浓度、浮游生物和溶解物光吸收量以及环境湿度等海洋环境参数监测的光纤传感器的原理、结构和特性,展望光纤传感器在海洋环境监测方面的美好前景。 相似文献
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用X射线衍射动力学理论,模拟计算InP衬底上InGaAs/AllnAs超晶格和InGaAs单层膜的X射线双晶摇摆曲线,计算结果表明:薄膜界面粗糙对单层膜的衍射峰和超晶格的零级衍射峰影响较小,但却明显影响单层膜衍射干涉条纹和超晶格的±1级卫星峰,随着平均界面粗糙度的增大,单层膜衍射干涉条纹强度减弱并趋于消失;超晶格的±1级卫星峰变弱并逐渐展宽,理论计算的模拟双晶摇摆曲线与超晶格实验曲线比较表明:高质量匹配In0.53Ga0.47As(85?)/Al0.4
关键词: 相似文献
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国民经济的高速发展和无线电技术的不断进步,大大地促进了无线电通信的发展。无线电通信业务平均每年以30%以上的速度增加。1996年底,我国各类无线电台总数已超过900多万部。其中转动通信发展最快,蜂窝移动电话用户为670多万,无线寻呼用户为4000多万,占世界第一位。其他无线电业务,如卫星通信,微波通信业务等发展也很快。无线电通信在各个领域得到了广泛应用,促进了国民经济南社会的发展。 相似文献
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临界装置是在低功率下运行的能够维持可控自持链式裂变反应的装置,一般运行的热功率在1kW以下,与动力堆相对应,一般称为零功率装置。在临界装置上进行的各项研究中,一个重要的参数就是裂变反应率(简称裂变率),它是其它参数测量的基准,如在脉冲式的反应堆中,还是脉冲裂变总数的测量基准,是脉冲堆的一个主要指标。 相似文献
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Kang Hai TAN Xiao Ping YANG 《数学学报(英文版)》2006,22(3):701-710
In this paper we give a geometric interpretation of the notion of the horizontal mean curvature which is introduced by Danielli Garofalo-Nhieu and Pauls who recently introduced sub- Riemannian minimal surfaces in Carnot groups. This will be done by introducing a natural nonholonomic connection which is the restriction (projection) of the natural Riemannian connection on the horizontal bundle. For this nonholonomic connection and (intrinsic) regular hypersurfaces we introduce the notions of the horizontal second fundamental form and the horizontal shape operator. It turns out that the horizontal mean curvature is the trace of the horizontal shape operator. 相似文献
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