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521.
激光微加工技术纵览:基本原理、实际应用及未来展望 总被引:5,自引:1,他引:4
激光微加工技术现已广泛应用于包括精密微成形在内的材料加工中。深紫外激光器在用于芯片制造业的光刻领域中有着极为广阔的应用前景,而飞秒脉冲激光器为微成形加工开辟了新的发展空间。与传统的材料加工方法相比,激光加工具有众多的优点,诸如能处理多种材料,能进行无损分离,具有小的热影响区、最小机械影响及热变形,并具有在二维甚至三维方向上沿复杂的断面进行微成形的可能性以及能够实现快速精确关断、开通等优点。 相似文献
522.
传统的体微加工是指薄片上的各向异性刻蚀。该技术当前已被广泛使用,它的缺点是结构一般相对较大,所以要占据绝大部分的芯片空间。在晶片的背面进行腐蚀,大多是由(111)面来形成侧壁,垂直壁可由(110)面形成。可以看出,这种微加工方法是双向完成的。该技术的一个优点是不需要高温,微加工是以后处理方式进行的,且多数都是用KOH作腐蚀液。然而,如果接续下来的工作也需在超净室中完成测最好的选择是TMAH。 相似文献
523.
文章慨述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镀照片等。该电机的转于和定于由LIGA技术制造完成.线圈由手工在显微镑下绕制完成,转子直径2mm.整个电机直径5mm。 相似文献
524.
当暴风雨即将来临的时候,满天阴霾,空气沉闷,正所谓"山雨欲来风满楼,黑云压城城欲摧"。突然,一声霹雳,一道强光划破长空,照得天空和大地无比灿烂。天上的云层,地上的山水,像水洗过一样,尽收眼底。这就是闪电,是云层与云层之间,云层与大地之间由火花放电产生的巨大的电火花。 相似文献
525.
526.
527.
528.
时空分布的超短激光脉冲烧蚀电介质材料时等离子体的产生 总被引:9,自引:6,他引:3
若考虑聚焦平面内固定区域,脉冲空间分布可简化为一维问题.在此基础上,从脉冲的传输过程出发,本文分析了时空分布的超短激光脉冲与电介质材料相互作用时等离子体形成模式.在材料内部累积的能量与脉冲宽度、与空间相关的损伤区域、等离子体形成时间及其吸收系数有关. 相似文献
529.
与金属电火花加工不同,由于半导体材料特殊的电特性,在进行半导体电火花线切割加工时,在电极丝与工件接触甚至已经被工件顶弯的状态下依然可以进行火花放电,蚀除工件材料,并且在微接触状态的切割效率还大大提高.研究分析认为:这主要是由于接触势垒和体电阻的存在,导致两极间在微接触时极间电压依旧维持在一个较高值,从而能在与微接触点不同的其他区域产生火花放电.分析了微接触式放电状态下效率提高的机理,认为切割效率的提高主要是由于脉冲放电本身利用效率的提高和侧边放电几率的降低所导致的用于正常蚀除的整体脉冲利用率提高.对微接触状态下的加工精度进行了研究,认为在微接触状态下进行切割加工时,应调整补偿量,以维持较好的加工尺寸精度. 相似文献
530.