基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜

给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜.测试得到的镜面变形-电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性.     

准分子激光精细加工粉末材料的研究

采用波长 2 48nm的krF准分子激光器 ,通过掩模投影直刻方式对铅粉、铝粉以及氧化锌纳米粉的精细加工进行了研究。结果表明 :在同样条件下 ,准分子激光对于氧化锌纳米粉和铅粉、铝粉两种金属粉末的加工机理有所不同。本文初步分析了几种激光加工工艺参数对于加工质量及加工机理的影响。其中激光能量对加工质量的影响较大     

电火花-直读光谱法测定纯铝薄板中的Fe、Si、Cu、Mn、Mg、Ti、Zn

本文选用加电感低能放电火花光源，解决了纯铝薄板易击穿的难题，优化了激发条件，并研究了表面氧化层和光洁度对测定结果的影响，建立了一套直接测定厚度０．２０ｍｍ以上纯铝薄板中各元素的分析方法。考核及对照分析实验表明，各元素的ＲＳＤ及相对偏差良好。     

关于电火花线切割变质层的研究

本文论述了电火花线切割变质层的表面形貌,化学成分、组织结构,该层对机械性能的影响,存在于该层中的残余应力情况,以及线切割加工中的裂纹和形变的发生和防止方法;提出了改善电火线切割变质层性能的途径和方法,并列举了一些实例。对提高模具的使用寿命有重要的意义     

微细EDM技术加工微齿轮的研究

本文通过用微细电火花（ＥＤＭ）方法加工模数为０．０６的微齿轮研究，阐述了微细ＥＤＭ方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。     

可快速鉴别微生物的微加工芯片

英国贸工部和生物技术生物科学研究委员会（BBSRC）正给一个研究项目作为期3年、225万美元的投资，目的是制作一种能快速（一分钟时间）鉴别经供水传染的危险微生物的实验性生物处理器芯片。目前使用的技术需化几小时或甚至几天时间才能鉴别同样的微生物。在威尔士大学进行的该项目将使用过去10年所发展的几种技术，并联合一系列工业伙伴。这个项目作为生物技术和生物科学研究委员会革新制造创议的组成部分，旨在发展一种监视供水系统的实验性传感器。生物处理器芯片包括有一个用激光加工的微型电极同（上）．用双向电泳使标记的微生物通…     

STM在微加工中的应用

 由王大文博士、白春礼研究员所撰写的这篇文章,学部委员朱洪元先生的评语是:“本文介绍了扫描隧道显微镜(STM)在微细加工中的应用,内容充实,表达清晰,是介绍最近几年才开始发展起来的这一领域的一篇很好的文章,可以在本刊发表.”王大文,女,1962年12月出生,1990年获清华大学工学博士学位.曾经从事分子束外延(MBE)及金属/半导体界面方面的基础研究工作,现在中国科学院化学研究所从事扫描隧道显微学及材料表面结构方面的研究工作.已在国内外学术刊物上发表论文十余篇.白春礼,男,1953年9月26日出生.中国科学院化学研究所研究员,扫描隧道显微学研究室主任.1985年获博士学位,1985-1987年在美国加州理工学院做博士后研究,主要从事扫描隧道显微术和扩展X射线吸收精细结构谱(EXAFS)的工作.从事的研究领域有扫描隧道显微学、X射线晶体学、分子力学和结构化学.主持研制的扫描隧道显微镜获1990年国家科技进步二等奖,主持研制的原子力显微镜获中科院科技进步一等奖.另外作为负责人或主要参加者的项目获三项中科院科技进步二等奖,并获中国科协青年科技奖、中科院青年科学家奖、中国化学会青年化学奖,有突出贡献的博士学位获得者和全国先进工作者称号.在国内外学术刊物上共发表文章60余篇.     

激光微加工技术的初步研究

本文研究了激光微加工中常用的激光微细焊接和多脉冲打孔技术。着重论述了激光微加工的性能质量的检测手段与方法,分析了激光微加工的独特性能和它与电子束加工技术的区别。     

利用SOI材料提高触觉传感阵列的性能

利用半导体材料、平面工艺和微机械加工研制触觉传感器是当前触觉传感器研究开发的一个重要方面,其中硅膜片电容式触觉传感阵列则是在研究中被广泛采用的结构.然而,触觉传感阵列的性能常受到微机械加工精度的限制.为了提高电容式触觉传感阵列的性能,本工作以SOI材料中异质结界面作为深槽腐蚀中腐蚀自停止界面,以提高硅膜片的表面平整度和厚度均匀性.在此基础上研制了 16×16硅膜片电容式触觉传感阵列,得到了较好的结果.