一种微型电磁继电器的制作和仿真

介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程。这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成 ,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作。微继电器的大小约是 4mm× 4mm× 0 .5mm ,工艺比较简单 ,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成。另外 ,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真 ,以便从这些结果中得到活动电极和线圈之间的优化数据     

微器件的热学加工技术研究与应用

归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出 :发,实现微 /纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况。通过分析表明,随着对微加工过程中一些关键热学机理的深入研究,许多现有技术瓶颈和界限均可望被逐步打破,从而促成更有效的微加工技术的建立。     

电化学扫描探针显微镜在表面微／纳米加工的应用

概述了在固／液界面微／纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术，分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(SECM)在应用于微／纳米加工时的基本原理和各种方法，并综合比较和分析了这三种技术的优缺点。     

静电火花法表征塑料导爆管起爆感度探索

提出了塑料导爆管轴向静电火花感度的概念、测试原理.用标准的静电感度测试仪配以一定结构的起爆针,建立了可用于导爆管感度测试的实验装置,采用升降法测出导爆管起爆所需静电能量并用它来表征导爆管的感度.用三种导爆管进行了感度测试,实验条件下其感度值E0.50分别为0.43、1.08、＞1.94J.     

微细电火花加工MEMS器件技术关键分析

微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势。本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路。     

基于改进BP网络的电火花加工工艺选择模型

电火花加工是基于工具与工件间脉冲性火花放电产生的电腐蚀现象来加工工件的，特别适用于复杂形状、特殊要求零件和难加工材料的加工。但是电火花加工r机理极其复杂，加工参数的选择在很大程度上取决于机床操作者的熟练程度，由于操作者的经验和知识所限，往往使电加工机床的性能和功能得不到充分发挥，甚至达不到加工要求。电火花加工所选取的工艺参数直接决定工艺效果，而工艺参数和工艺效果之间的关系异常复杂，解决工艺参数选择难的关键是建立一个合理有效的电火花加工选择模型，进而实现工艺参数的自动优化选取。     

铜基体HVOF碳化物涂层的初步研究

超音速火焰喷涂(High Velocity Oxy-Fuel sprar—HvOF)是近20年来发展起来的新工艺，其火焰温度为3000K左右，喷涂粉末的速度为600～1200m／s，这解决了等离子喷涂温度过高和普通火焰喷涂粉末熔滴能量不够的问题，同时HVOF涂层更高的结合强度也使它在石化、制造、采矿等行业有着广泛的应用前景。     

45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究

聚焦离子束加工作为一种微纳加工手段,可以用来制造纳米元件和微结构元件。研究了在多芯光纤的末端,使用聚焦离子束加工技术设计和制造45°镜面的全过程。该光学镜面由两步加工完成,首先是扫描过程,用来制造粗糙的切割面;然后是抛光过程,用来完成光学表面的光洁处理。加工完成的45°镜面可以准确地与光纤的纤芯对接,避免了外部转向镜组件对接的相关问题。实验测试表明,加工的结构可以通过干涉测量两个垂直轴向的位移值,检测位移测量范围大致为60 μm,X和Y方向的均方根绝对测量误差约为1.75‰和1.97‰。该技术有望用于精密零件内表面、血管内壁等检测领域。     

振动图像描绘实验的新设计

采用电火花记时器和相关附件制成的新型振动图像描绘仪,能够较容易、准确地描绘出振动图像,可以方便地进行定性分析和定量计算,便于学生理解、掌握相关知识.