硅尖的制备及应用

本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。     

压电陶瓷振动器在电火花机床上的应用

众所周知,在电火花机床上对工具电极或被加工零件施加振动,有利于排除电蚀产物,这会提高加工效率。根据被加工表面的形状以及加工面积、深度和规范的不同,加工效率有时可提高2～4倍。人们通常都是使用电磁振动器,其频率为100Hz,在电火花加工的实践中,也使用超声谐振振动器,其频率为18～44kHz。当采用这种振动器时,振动系统的波长应严格地与超声振动波长成倍数。同时,对工具电极的固定方法也提出了苛刻的要求。工具电极损耗后,振动的谐振状态遭到破坏,因而有必要采用一种自动变换谐振频率的装置。     

LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究

通过LIGA技术与微细电火花技术相结合，可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构，这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽70μm、厚度达730μm的铜工具电极，采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽90μm、具有复杂形状的微结构。     

用于废物处理的电火花法

Texas Tech大学的H.W.Parker等人发现浸入式电火花法可能成为破坏液体危险性废物的一条途径。这种方法和用来处理危险性废物的等离子电弧法的区别在于,他是在液体废物液面下产生等离子体的。从而简化     

考虑高指数晶面的体硅腐蚀模拟新CA模型

针对目前体硅腐蚀(硅各向异性腐蚀)的3D CA模型无法引入(211),(311),(331),(411)等较多高密勒指数晶面,模拟精度不高的问题,建立了一种高精度的体硅腐蚀模拟的新3D连续CA(元胞自动机)模型.模型可以有效引入(211),(311),(331),(411)等高密勒指数晶面,提高模拟精度.模拟结果与实验结果一致,证明了模型的模拟效果,对体硅腐蚀模拟研究和提高MEMS设计水平具有一定的实用意义.     

隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用

利用块材钛酸锆铅(PZT)材料的逆压电效应设计并制备了可用于微泵驱动的压电驱动器,通过5种结构模型的仿真分析确定了压电驱动器的隔膜式结构,在获取较大中心位移的同时有效提高了结构强度,增加了驱动器的适用性。工艺上通过键合、减薄、激光烧蚀及硅的湿法刻蚀工艺完成了器件的制备,施加频率10 Hz和100 Hz的交变信号测出了中心膜片位移与对应电压的关系,施加峰峰值为1 V的信号测得共振频率为70 kHz。基于制备的压电驱动器设计并制备了机械式带止回阀的微泵,经测试泵入、泵出功能正常。当对微泵外加峰峰值为30 V、频率为500 Hz的驱动电压信号时,每分钟能驱动的液体流量为55μL。该驱动器的驱动效果好,可进一步结合不同的微阀设计制备性能更加优良的微泵。     

用于增强药物和疫苗经皮给送的微针技术

作为一种微米尺度的类似针状器件,微针可以克服传统经皮给药(TDD)的局限,在皮肤上无痛、无出血地产生微米量级的孔洞,提高药物尤其是大分子化合物的经皮递送效果。介绍了TDD用微针根据不同给药方法进行的分类和相应的微制造方法。给出了四种微针的给药方案和一般使用方法,说明了各种微针给药方案的优缺点及一些改进措施。比较全面地阐述了微针在治疗、监测、诊断、美容等方面的应用及研究进展。微针在TDD技术的发展过程中起到了重要的促进作用,其未来的发展将在微加工技术进步的支撑下,通过临床医学实践,进一步改善人类健康、提高生活品质。     

水导激光微加工机理与研究进展

随着我国航空航天、微电子和医疗等领域的快速发展,组成元件逐步迈向微型化和精细化,这对零部件的切割以及微米级孔、槽等结构的加工质量和加工精度提出了更高要求。与传统的机械加工、电火花加工和电化学加工相比,激光加工可实现“非接触”加工,加工材料的适应性好、柔性大。但单一的激光加工得到的切口存在明显的锥度,且易出现热影响区、毛刺、裂纹等缺陷。水导激光加工技术利用水射流“同轴”全反射导引激光,兼具高质量和高效加工的优势,因而得到了广泛研究和应用。为对水导激光加工技术进行较为详尽的综述,本文首先讨论了水射流的形成、衰减和发散过程,然后从水的光学特性、全反射形成条件以及耦合能束传输等方面对激光-水射流耦合进行了分析,最后介绍了水导激光在金属、半导体以及复合材料等领域的应用现状,并针对现有技术的不足,对其发展趋势进行了展望。     

激光诱导吡咯和邻苯二胺的电化学聚合

激光诱导吡咯和邻苯二胺的电化学聚合高劲松蔡雄伟田中群＊（厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室，化学系，物理化学研究所厦门３６１００５）关键词激光诱导，电化学聚合，微加工，聚吡咯，聚邻苯二胺１９９６－０８－１２收稿，１９９６－１１－１８修回国家自然科...