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由于MEMS压力传感器的制作过程中存在着许多不可控因素，例如，制备环境、工艺误差、设备误差等，因此，整个MEMS压力传感器的稳健优化设计是极其重要的。本文对电容式MEMS压力传感器进行优化设计，以期为后续研究开发电容式MEMS压力传感器奠定必要的基础依据。 相似文献