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151.
己开发出一种利用光学移相、傅里叶交换和空间滤波技术,使基片上的对称图形与中间掩模上的移相图形套准的新型精密对准技术。这两个标记之间的对准是用检测基片对准标记反射光的零阶空间频率先强的最小值点来确定的。此最小值是因两对准标记共心时相位将完全抵消而形成的。所进行的理论分析知计算机模拟证明,这种技术不受对准标记图形线宽和台阶高度变化的影响,也不因制有对准标记的基片材料的光学特征变化而变化。初步实验结果与计算值相当一致。从而证明,这种技术不存在利用栅光图形和检测干涉条纹图像这些技术中所存在的模糊问题。现有结果表明,这种技术的套刻精度可优于0.1μm。 相似文献
152.
CC4528是CMOS双单稳态集成触发电路,它有两个可再触发端A端与B端。若用脉冲上升沿触发,触发信号从A端输入,B端要接高电平;若用脉冲下降沿触发,触发信号从B端输入,A端要接低电平。CD是复位端,低电平有效。它有Q和Q两个互补输出端,产生一个精确的有较宽范围的输出脉冲,其宽度和精确度由外部时间元件R_x、C_x确定。图1是CC 4528的管脚排列。图2是逻辑图。其真值表如附表所示。 相似文献
153.
154.
155.
介绍PSD4000系列芯片的基本情况和80C196KC的功能特点,比较了常规单片机系统和PSD4235G2-80C196KC两片系统的硬件结构。最后以直流电机驱动系统为例,给出两片系统的硬件电路图,并作详细的说明。 相似文献
156.
按美国市场调查公司通信工作调查(CIR,Charlottesville,Va)的最新报告得知,今后几年用于移动产品,诸如笔记本电脑、电池电话、个人数字助理(PDA)和手提DVD唱机等,仍将强劲地推动市场增长。预计,在这些移动电子设备中用作功率管理的功率集成电路和相关的分立器件 相似文献
157.
电子整机厂与IC企业和相关配套厂都十分关注IC的发展动态与市场,本文概述了IC技术发展趋势,产品发展方向,国内现状,市场前景可供有关企业,院校,研究所决策时参考,也可作IC规划的依据。 相似文献
158.
随着深亚微米集成电路技术的发展,集成电路的规模越来越大,工作频率越来越高,并正朝着系统集成的方向发展,因而在模拟速度,模拟精度和可模拟的电路规模等各个方面对电路仿真技术提出了新的要求。近年来,各种新的电路仿真方法和仿真系统用相继脱颖百出,并将取代那些传统的,已经无法适应深亚微米技术发展的电路仿真器。 相似文献
159.
160.