HD-DVD光学系统物镜的设计与研究进展

对于下一代光盘系统而言，GaN激光器和高数值孔径（NA）的物镜是关键组件。本文介绍了几种HD-DVD光学系统物镜的设计方案，并对其进行比较研究，发现要根据不同的要求来设计物镜，对像差要求高的要采用两元件型或者三元件型物镜；而对于要求结构简单、装配容易、工作距离大的光学头，要采用单元型物镜。在解决其与CD和DVD的兼容性问题时，可采用物镜前插入补偿装置来控制物镜的数值孔径。     

LCoS背投光学引擎中变焦投影物镜设计

设计出变焦投影物镜，能满足相同光学引擎、相同屏幕位置下不同屏幕尺寸的需要。考虑到所设计的系统为大相对孔径、中等视场和小变焦比，从变焦理论出发，采用正组补偿的机械补偿法，对变倍组进行合理的倍率选段，求出了高斯解；然后分组元选用合理的初始结构，利用ZEMAX光学设计软件进行优化设计，解决了变焦系统畸变难以控制的问题，并使用调制传递函数对整个系统进行了综合评价。设计结果表明：该变焦投影物镜系统的光学性能和成像质量均满足设计指标要求，能应用于101.6～177.8cm的大屏幕电视。     

医用电切镜的照相物镜设计

本文简要介绍一种专用照相物镜的设计方法,并给出计算结果。一、概述在医用硬管内窥镜中,根据不同使用要求又分为腹腔镜、电切镜及膀胧镜等等。我们根据上海某工厂的使用要求,     

高场生长晶体的电子探针分析

高场晶体生长现象分为阳极晶体生长和阴极晶体生长两类[1,2 ] ,近来还有人利用这种现象制出了含有碳纳米管的金属纤维[3] 。在试制一种新阴极的过程中[4 ] ,观察到阴极晶体生长现象[5] 。为了解生长物的组份 ,尝试使用安装于一台国产扫描电子显微镜 (ＳＥＭ)上的能谱探针 (ＥＤＳ) [6] ,其困难来源于接收角 (ｔａｋｅ ｏｆｆａｎｇｌｅ)的确定。我们发展了一种可以称为“物镜电流焦距法”的方法 ,改进了常规的几何测量法 ,该法方便、快速而且准确。1　样品制备使用ＳＥＭ中的发夹式热发射钨 (Ｗ )灯丝作为基底 ,在电子发射尖端附近蒸镀一定…     

Analysis of simple shear endochronic equations for finite plastic deformation

IntroductionThestress_strainbehaviorofmaterialswithfiniteplasticdeformationisaninterestingissue ,onwhichsignificantprogresshasbeenmadethroughboththephenomenologicalandphysicalapproaches.Thephenomenologicalapproachisbasedoncontinuummechanicsofplasticity .Ithasitsadvantageinsolvingcomplicatedproblemsbecauseofitssimplicity .Mostofphenomenologicaltheoriesareinvolvedintheconceptofcorotationalrates.Thematerialderivativeofstresswasnotobjectiveunderfinitedeformation .TheJaumannratewasusuallyusedbefo…     

脉冲激光测距系统中非球面物镜的设计

简要介绍了脉冲激光测距的工作原理及其光电特性。并以总体设计所确定的初始结 构参数为基础,应用薄透镜系统的初级像差理论的P、W法实现非球面物镜的优化设计,给出了满足系统要求的非球面物镜的像差结果。     

照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析

点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响,确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出,当用PDI检测数值孔经(NA)为0.3的系统时,采用直径大小为800nm的小孔较为适宜,其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ,强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时,采用直径大小为500nm的小孔较为适宜,其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ,强度均匀性为0.664。     

光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究

针对压电陶瓷在光刻机投影物镜中作为像质补偿镜组促动器的特定应用要求,对一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动器的动态性能进行了研究.首先,针对驱动器系统中集成运放固有频率特性对动态性能的影响进行了分析,确定了外部补偿网络的参量.然后,针对驱动器系统大容性负载对动态性能的影响进行了分析,提出了隔离电阻的补偿方法.最后,讨论了驱动器系统中寄生电容对动态性能的影响.计算表明:补偿后的压电陶瓷驱动器系统相位裕量为79°,阶跃响应无超调量,调节时间为5 μs.基本满足压电陶瓷在光刻物镜中作为像质补偿镜组促动器的稳定性强、响应快速、超调量小等动态要求.