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论述准直物镜对杂光系数测量的影响,并给出实验例证,提出在高精度杂光测量中应扣除准直物镜杂光测量结果的影响。 相似文献
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本文基于ybar-y图, 建立了计算光学系统一阶结构的数学模型, 并利用粒子群优化算法对模型进行了求解, 可以自动优化出各种光学系统的一阶结构. 编写了一套含图形用户界面(GUI)的软件, 将光学系统的基本设计要求进行处理后导入GUI, 求解之后利用商用光学设计软件如ZEMAX等, 将一阶结构转换为实际透镜结构, 然后经过透镜优化, 就可以设计出满足要求的光学系统. 根据本文所提出的光学结构计算方法, 首先进行了1300万像素手机摄像物镜的设计, 该物镜使用了4片非球面, 各项性能指标能够满足设计要求. 然后设计出一套头盔显示光学系统的目镜, 使用了两片非球面透镜实现了90°的视场角, 其他的性能指标也都满足要求. 两类光学系统的设计实例验证了该方法是一种可靠的光学系统一阶结构获取方法. 相似文献
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为了设计光刻物镜的支撑结构,建立了支撑应力对透镜透射波前影响的模型,研究了该模型中支撑应力与折射率的关系及支撑应力对透镜透射波前畸变的影响。首先,根据晶体理论,建立了融石英透镜波前畸变与支撑应力之间关系的仿真模型。然后,分析了不同支撑结构下支撑应力与融石英透镜波前的关系。最后,分析了支撑应力造成的透射波前畸变的性质,并选择合适的物镜支撑结构。研究结果表明:光刻物镜支撑结构的支撑应力对透镜的透射波前有很大的影响:3点支撑的波前畸变PV值为3.69 nm;随着支撑点数量的增加,支撑应力造成的透射波前畸变逐渐减少;采用大于9点的支撑结构即可满足光刻投影物镜的元件支撑需求。 相似文献
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26.
我室H-500型透射电子显微镜已经使用二十多年,近年来故障不断。现把物镜部分的一例最新故障的维修情况介绍如下。 相似文献
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28.
在通用胶片判读仪中,影响判读数据最终精度的主要误差源是测量系统(数字化仪)测量误差、投影物镜的畸变、大反射镜面形误差等因素造成的综合畸变。该综合畸变在光学系统调试完成后,就成为一个在全视场内固定分布的系统误差。本文介绍了一种被实际证明行之有效的大范围致密分区插值光学畸变校正方法,并给出了该方法的数学模型。对于采用这种畸变校正方法后的实际效果,文中用一组实际精度测试数据进行了说明。 相似文献
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高仰月 《电子工业专用设备》1998,27(1):26-28
扼要介绍了适用于双面曝光观察对准显微镜的结构设计,并对双面观察对准的独特性和技术难点进行了剖析,成功地解决了该系统不能整体调焦的难题,使该系统在Z向不移动的情况下达到了调焦和齐焦的目的。 相似文献
30.
相干光学系统实现Hough变换 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了在图像处理、模式识别领域中常用的Hough变换(HT),推导出了HT与傅里叶变换之间的关系,通过对光的传播、傅里叶光学及物镜变化的研究,实现了短的、节省的Hough物镜。 相似文献