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991.
992.
激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统 总被引:6,自引:2,他引:6
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量。而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法。研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量。系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流.再经信号放大及模/数转换后输入计算机。结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值。系统的温度分辨率可达到0.2℃,测量区域的最小直径可达到18μm。同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位。 相似文献
993.
LD抽运高重复频率四通放大MOPA系统中的光纤相位共轭研究 总被引:5,自引:1,他引:5
报道了利用多模光纤作为相位共轭镜应用于重复频率100Hz。脉宽20ns的电光调Q四通放大LD抽运激光器的实验研究。由于光纤受激布里渊散射(SBS)存在的阈值效应,可以抑止使用平面全反镜的四通放大系统中难以克服的放大级自振荡(SO)和放大自发辐射(ASE)效应.以获得高能量高光束质量的激光输出。实验中在20ns.100Hz和注入光纤能量4.6mJ的情况下获得了4.1mJ的1064nm的基模激光输出。激光光束模式接近TEMoo模.且脉宽被压缩至4.7ns。在使用了光纤相位共轭镜的四通放大技术后,很好地补偿了由板条放大器热效应造成的光斑畸变。输出光斑很好地复原了振荡级输出光斑的光强空间分布。 相似文献
994.
材料性能参数与板料激光弯曲成形角度的相关性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
板料激光弯曲成形是一种柔性、无模成形新工艺,它通过激光扫描金属板料所导致的非均匀热应力使板料产生塑性变形。材料的性能参数(包括力学性能与热物理性能)对激光弯曲成形的影响很大,通过三维热机耦合有限元仿真研究了材料性能参数与板料激光弯曲角度之间的相关性,研究表明,小弹性模量、低屈服强度的材料容易产生大的弯曲变形。热膨胀系数与弯曲角度之间成正比关系,当热膨胀系数趋于零时,弯曲角度也趋于零。小的热传导系数有利于形成大的温度梯度,从而使板料产生大的弯曲变形;比热越小,加热区内材料的温升越大,使板料容易弯曲变形。 相似文献
995.
准连续17 kW 808 nm GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵 总被引:4,自引:5,他引:4
高功率激光二极管列阵广泛应用于抽运固体激光器.报道了17 kW GaAs/AlGaAs叠层激光二极管列阵的设计、制作过程和测试结果.为了提高器件的输出功率,一方面采用宽波导量子阱外延结构,降低腔面光功率密度,提高单个激光条的输出功率,通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法进行材料生长,经过光刻、金属化、镀膜等工艺制备1 cm激光条,填充密度为80%,单个激光条输出功率达100 W以上;另一方面器件采用高密度叠层封装结构,提高器件的总输出功率,实现了160个激光条叠层封装,条间距0.5 mm.经测试,器件输出功率达17kW,峰值波长为807.6 nm,谱线宽度为4.9 nm. 相似文献
996.
1.3μm高增益偏振无关应变量子阱半导体光放大器 总被引:4,自引:2,他引:4
采用低压金属有机化学气相外延法 (LP MOVPE)生长并制作了 1 3μm脊型波导结构偏振无关半导体光放大器 (SOA) ,有源区为基于四个压应变量子阱和三个张应变量子阱交替生长的混合应变量子阱 (4C3T)结构 ,压应变阱宽为 6nm ,应变量 1 0 % ,张应变阱宽为 11nm ,应变量 - 0 95 % ;器件制作成 7°斜腔结构以有效抑制腔面反射。半导体光放大器腔面蒸镀Ti3 O5/Al2 O3 减反 (AR)膜以进一步降低腔面剩余反射率至 3× 10 -4以下 ;在 2 0 0mA驱动电流下 ,光放大器放大的自发辐射 (ASE)谱的 3dB带宽大于 5 0nm ,光谱波动小于 0 4dB ,半导体光放大器管芯的小信号增益近 30dB ,在 12 80~ 1340nm波长范围内偏振灵敏度小于 0 6dB ,饱和输出功率大于 10dBm ,噪声指数 (NF)为 7 5dB。 相似文献
997.
共边排样件激光切割路径的规划 总被引:2,自引:1,他引:2
排样软件的应用使材料利用率得到了很大提高,然而后续切割软件若不能保证有效地切割零件、保证零件质量及提高生产率,则排样软件在材料利用率上获得的收益将丧失。基于图论学理论,建立了规则与非规则零件共边排样时激光切割路径规划的数学模型,给出了在充分考虑加工质量、加工效率、制造成本情况下的激光切割路径优化目标:打孔点最少以及切割中割嘴空行程最短。提出了满足激光切割工艺要求的三个切割路径优化算法:用于求解理想情况下共边切割路径优化问题的一个新的欧拉回路算法;基于奇度顶点完全图最小权最大匹配算法来求解一般情况下共边切割路径优化问题的算法;利用废料区域进一步减少打孔点的处理策略与求解算法。给出了各种算法的运行实例,验证了所提出的算法的有效性。 相似文献
998.
999.